ジルコニア式酸素濃度計の校正には、酸素濃度の明確なガスを使用します。
通常は、酸素濃度の低い「ゼロガス」と酸素濃度の高い「スパンガス」の2種類のガスを用いて行います（2点校正）。
また、どちらか一方のガスを用いて校正する1点校正もできますが、この場合でも初回またはセンサ交換後、必ず2種類のガスを用いた2点校正を行ってください。
通常、「ゼロガス」および「スパンガス」は、下記のガスを使用します。
- ゼロガス ：酸素濃度0.95～1.0vol% O2で、残りがチッソガス（N2）
- スパンガス：計装用空気などの清浄空気（露点温度－20℃以下で除湿し、オイルミストおよびダスト類を除去した空気）
（注）酸素濃度0%のチッソガス（N2）をゼロガスとして使用することはできません。
ジルコニア式酸素濃度計は比較側の酸素分圧（PA）に対する測定側の酸素分圧（PX）の変化を起電力（E）として検出しています。
この起電力（E）は、PX/PAに対して対数比例していますので、PXが0%になると起電力は無限大となり校正ができません。
通常、ゼロガス校正は1%O2のガスを用いて行います。
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