横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

気中パーティクルカウンタのデータ記録

気中パーティクルカウンタは、半導体/医薬品製造(クリーンルーム)空調監視に使われます。
DXAdvancedは、パーティクルカウンタで測定された清浄度データを通信で取込むことにより、精度を劣化させずに表示/記録させることができます。

気中パーティクルカウンタ

上図は、Modbusスレーブに対応したパーティクルカウンタをRS-485で接続し、Modbus/RTU通信により、2粒径(0.5μm/5.0μm)清浄度、サンプル流量、CAL(測定状態) などのデータをDXAdvancedに表示/記録させています。

  • DXAdvancedとパーティクルカウンタをModbus/RTU(RS-485)で接続
    (/C3:RS-422A/485通信インタフェースオプション)
  • 演算CHで数値表示/記録
    (/M1:演算機能オプシュン)
  • 清浄度異常に警報リレー出力
    (/A1:アラーム出力リレーオプション)

DXAdvancedのマスタコマンドは、最大16個まで設定可能です。
(接続可能台数は、カウンタから取込むデータ個数/レジスタ構成により異なります。) 

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