横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

高精度圧力センサモジュール

横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC(燃料電池)実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。 

対象機種:

  • 高精度圧力センサモジュール
    • MU101

詳細

特長

高精度圧力センサモジュール MU101

高精度圧力センサモジュール MU101

直線性、ヒステリシス、再現性 ± 0.01 % FS の高精度
出力 EIA RS-232-C に準拠 コンピュータへのインターフェイスが容易
シリコン振動式圧力センサ(シリコンレゾナントセンサ)を搭載
低消費電流 ( 10 mA 以下)
温度特性 ± 0.0008 % of span / °C Typical 、長期安定性抜群
小形軽量
シールダイアフラム構造(ハステロイC 使用)

 

詳細仕様につきましては、一般仕様書をご参照ください。

測定コード ゲージ圧測定用 絶対圧測定用 最大加圧 分解能
L 0 ~ 10 kPa 200 kPa 0.8 Pa
M 0 ~ 130 kPa 0 ~ 130 kPa abs 520 kPa 2 Pa
H 0 ~ 700 kPa 0 ~ 700 kPa abs 1.4 Mpa 30 Pa
A 0 ~ 3 MPa 4.5 MPa 60 Pa
  MU101
被測定体 気体および液体
出力信号 EIA RS-232C に準拠
通信同期方式 半二重伝送
ボーレート 1200 bps
通信ポートコネクタ D-SUB 9 ピンコネクタ
精度 スパンの ± 0.01 % (直線性、ヒステリシス、再現性を含む)トレーサブル
(測定コード:Lは、スパンの ± 0.02 % トレーサブル)
弊社出荷時は、スパンの ± 0.02 % に校正
測定コード: L および絶対圧は、スパンの ± 0.03 % に校正
温度特性 ± 0.015 % of span/°C
( 5 ~ 45 °C 間の 40 °C 幅、± 0.0008 % of span/°C Typical値、測定コード: L 以外)
± 0.03 % of span/°C
( 5 ~ 45 °C 間の 40 °C 幅、± 0.0015 % of span/°C Typical値、測定コード: L)
補償温度範囲 5 ~ 45 °C
動作温度範囲 -5 ~ 55 °C
使用圧力 0.013 kPa abs 以上(絶対圧)、2.7 kPa abs 以上(ゲージ圧)
電源電圧 6 ~ 24 V DC
消費電流 10 mA 以下
入力コネクタポート Rc 1/4 (PT 1/4 )めねじ、または 1/4 NPT めねじ
材質 ダイアフラム: ハステロイC
入力コネクタ: SUS316
ケース: 鋼板
質量 約 640 g

※1 直線性、ヒステリシス、再現性を含む

出荷時の調整

高精度圧力センサモジュール MU101

高精度圧力センサモジュール MU101

本器出荷時は、下記条件で調整されています。

  • 周囲温度: 25 °C ± 5  ℃
  • 供給電源電圧: 24 V DC ± 1 %
  • 圧力センサの姿勢: 水平
  • 時定数: 2 sec

出荷時の精度はスパンの ± 0.02 % に校正、測定コード: L および絶対圧はスパンの ± 0.03 % に校正されています。

 

詳細仕様はお問い合わせください。

 

VCR継手

適用機種:MU101
継手をVCR対応に変更します。 

VCR継手

関連情報

密閉された気圧を測る場合は基準は絶対圧になります。また、密閉された気体自体が温度の変化で膨張収縮して圧力が変動しますので、温度も測定しながら基準温度相当の圧力に換算補正をしながら判定する必要があります。 ...
水素ガスの場合は爆発の危険を回避してご使用下さい。本品は防爆構造ではありません。へリウムガス、フロンガス、炭酸ガスなどには接液材質の問題はありません。ただし、お客様でシール材をご使用になる場合には、それぞれの用途に適した材質、構造を選定願います。メタルシールが必要な場合は、VCR 継ぎ手やフレア継ぎ手などの特注対応が可能です。 ...
ケースが非防水構造のため屋外使用はできません。防水ケースなどに収納してご使用ください。
液体でも使用可能です。受圧部材質はSUS316およびハステロイダイアフラムの溶接構造です。
製品仕様書にコマンド一覧および通信プログラム例が記載されておりますので、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご参照下さい。
超高精度圧力センサとは、絶対圧力またはゲージ圧力を非常に再現性よく高精度に測定してディジタル信号( RS232C )に変換して出力する計器です。
周波数応答の仕様は規定されておらず、63 % ステップ応答時定数で規定しています。時定数:最小 0.2 sec ~最大 4 sec より概算した周波数応答は 0.8 Hz ~ 0.04 Hz になります。
ゼロ調実施後のゼロ調値は、電源を切っても保持されます。絶対圧タイプではゼロ点は真空ですので、十分真空引きしてからゼロ調を実施して下さい。誤って大気開放でゼロ調をしてしまうと、調整量エラーとなります。エラーが出た場合は初期状態に戻すコマンドにて復帰させて下さい。 ...
MU101 は、RC232C 出力で専用プロトコルのため、プログラムを作成できる受信器が必要です。PLC や PC を介していただく等が必要です。
液位測定は次の液位と圧力の関係式により、密度がわかれば圧力センサで液位測定が可能となります。 【液位測定原理】 液体が入っている容器の底には液面の高さと液体の密度の積に比例した圧力がかかります。従って、この圧力を測定することにより、液面の高さ(液位)を知ることができます。これが圧力式液位計の原理です。 圧力と液位は下記の関係式が成り立ちますので、圧力センサを用いて液位を測定することができます。圧力センサから、水面までの高さを h 、液体の密度を ρ 、重力加速度を g 、圧力を p と...
精密測定器のため、ノイズがありますと測定誤差の発生や RS232C の通信エラーが起こる可能性がありますので、できるだけノイズがない環境でご使用下さい。また、まれに通信エラーが発生したり、極端な測定誤差値の読み込みを防ぐため、通信のリトライや、測定値の極端値の切捨てなど、プログラム上での設定をお願いします。 ...
非常に安定性に優れたセンサで、長期間にわたり精度変化もわずかです。しかし全く変化しないわけではありませんので、用途の重要度に応じて、トレーサビリティが必要な場合は 1 年に 1 回程度校正されることをお勧めします。 ...
当社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。販売代理店がご不明な場合は、当社営業にお問い合わせ下さい。
MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、VB(ビジュアルベーシック)を用いた例が記載されています。ご確認ください。
あります。特注品ですがプログラム設定等が不要な専用表示器をご用意しております。(代表形名:MU101D/Z ) この表示器を MU101 本体と RS232C ケーブル(リバースタイプ)で接続していただければ、出力信号がダイレクトに 6 桁表示されます。 表示器は AC 100 V 電源駆動で、なおかつセンサ用電源端子を備えており、とても便利です。 ...
それぞれ単品でご購入後、当社販売代理店窓口経由で当社関連サービス会社に組み合わせ校正を依頼して下さい。
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姿勢変化によるゼロ点誤差は 140 Pa / 90 ° あります。設置状態でゼロ点誤差が発生した場合にはゼロ点調整を行って下さい。またゼロ点調整後は姿勢が変化しないようにご注意下さい。 ...
校正業務をおこなっている関連会社で引き取り校正を承ります。当社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。当社販売代理店がご不明な場合は、当社営業にお問い合わせ下さい。 ...
MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、ビジュアルベーシック( VB6 )を使用した基本プログラムの例が記載されています。ご確認ください。
電源は DC 24 V 電源をお勧めします。使用可能電圧は DC 6 V 以上ですので、短時間でしたらバッテリー等でも動作可能です。通信ケーブルは市販の RS232C クロスケーブルをご用意下さい。 ...
MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、VB (ビジュアルベーシック)を用いた例を製品仕様書に記載しています。ご確認ください。
MU101 本体との通信はハイパーターミナルでは正常動作しません。VB (ビジュアルベーシック)をご使用いただいている実績が多く、構築もしやすいようです。なお、特注品の専用表示器 MU01D/Z を経由していただくと、ハイパーターミナルでも動作することを確認しております。 ...
/Z または Z のコードは特注仕様を表しています。特注内容は個々のお客様指定内容になります。 製品銘版に、XJ-□□□ と No が記載されておりますので、この XJ No でお問い合わせを頂ければ内容を確認することができます。 ...
一般に市販されている RS232C 通信用 D-SUB9 ピンのクロスケーブルをご用意下さい。製品には付属されておりません。 なお、RS232C ケーブルの最大長は 15 m までです。( RS232C の規格) ...
ゲージ圧の負圧レンジ品はラインアップされておりません。 正圧レンジ品では、負圧側は精度保証はできませんが、レンジ範囲の約 ± 150 % まで動作は可能です。 耐真空使用範囲は 2.7 kPa abs 以上です。なお、絶対圧レンジ品の使用可能範囲は、0.013 kPa abs 以上です。 ...
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小形圧力センサ要覧、小形圧力センサガイドブック、および一般仕様書、取扱説明書、外形図などがダウンロードできます。
MUシリーズは、横河電機が開発した「シリコンレゾナント」方式の半導体圧力センサ素子を用いて圧力を測定します。 「シリコンレゾナント方式」の圧力センサでは、数 mm 角のシリコンチップに形成されたダイアフラム(薄板)上に、微細加工技術( MEMS )を用いて、微小な振動子を形成します。圧力を受けてダイアフラムがたわむと、ダイアフラム上の振動子にかかる張力が変化し、振動子の固有周波数が変化します。この周波数の変化を検出して、圧力に対応した電気信号を得ます。 ...
超高精度圧力センサはもっとも再現性、長期安定性に優れ、高い耐圧性能が実現できるシリコンレゾナント式のセンサを用いています。また出力形態も、アナログ出力での伝送誤差を避けるため、RS232C というデジタル出力を採用しています。 ...
高精度圧力センサモジュールの選定においては、下記が基本要件となります。 圧力の種類及び、レンジ ゲージ圧、連成圧の選択および測定範囲と許容過大圧 測定対象の種類 気体、液体(耐食性、非爆発性) 出力信号の種類 RS232C 周囲環境温度 高温、低温 取り付け方法 壁面ねじ止 配管方法 管用めねじ 設置場所 屋内用 ...
内部で発生させている 5 V DC 電源を端子に出しています。1 ~ 5 V DC 出力ではあリません。一般的には使用しません。
MU シリーズは、取り付け姿勢により、オフセット値(ゼロ点)が変動します。感度は姿勢の影響を受けません。出荷時は、導圧ネジの軸線が水平方向で調整されています。導圧ネジの軸線が水平でない取り付け姿勢でお使いの場合は、取り付け後に正面にあるゼロ調整ネジもしくはゼロ調コマンドの送信により出力調整して下さい。ただし、絶対圧レンジ品の場合は、ゼロ点が真空圧ですので、圧力が残っている状態でゼロ調整をおこなうと誤差が発生してしまったり調整範囲エラーとなることがありますのでご注意下さい。 ...
精度保証できるのは定格レンジ範囲のみです。出力可能範囲は定格レンジの ± 150 % の範囲であり、精度はおおよそ仕様の 2 倍程度悪化します。また、正常復帰可能範囲は、下限では真空使用範囲値まで、上限では過大圧値までです。 ...
動作可能範囲はそれぞれの定格レンジ範囲の ± 150 % です。分解能は出荷時設定時定数 2 秒において、10 kPa レンジ:0.8 Pa、130 kPa レンジ:2 Pa、700 kPa レンジ:30 Pa、3 MPaレンジ:60 Paです。時定数を小さくすると、分解能が低下します。分解能の規定は、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご確認下さい。 ...
MU101 の出力は超高精度デジタル信号なので、アナログのデータロガーに直接記録ことはできません。 一般仕様書や取扱説明書に掲載してあるサンプルプログラムを参照して取り込んで下さい。 ...
MU101 は産業用センサの通例で 0 % ~ 100 % の全範囲で精度を of スパンで規定しており、読み値(of リーディング)に対する精度ではありません。0 % ~ 100 % のスパンに対しての精度です。 ...
MU シリーズは、「最大加圧」までの圧力を加えても、故障することはありません。また、100 % を超える圧に対しては、概ね 150 % 程度まで圧力に対応した出力を発信します。(ただし、精度保証外) ...
現在、国内で圧力校正をするための基準器で、国家基準に対するトレーサビリティが確保できるのは、± 0.02 % FS ( 130 kPa レンジ以上)までです。弊社では、出荷する製品に対しそれを校正するための基準器の精度を含めてトレーサビリティを確保する必要があると考えますので、出荷品のトレーサビリティは ± 0.02 % FS が上限となります。「 ± 0.01 % FS トレーサブル」という表現は、MU101 の再現性、安定性、ノンリニア補正機能等の性...
真空使用範囲は 13 Pa abs 以上です。これを超える高真空ではセンサが故障する可能性があります。
可能です。トレーサビリティ体系図(校正証明書)の発行は、本体をご購入頂いた販売窓口代理店にご連絡下さい。
「4 - 20 mA タイプ」は 2 線式の電流出力であり、長距離配線においても負荷抵抗許容範囲内であれば、配線抵抗による精度への影響はほとんどありません。ただし電流出力を電圧計で測定するには、250 Ω などの精密抵抗で 1 - 5 V などの電圧に変換する必要があります。 「1 - 5 V タイプ」は 4 線式であり、電源線と信号線がおのおの用意され、直接電圧出力が取り出せます。配線長は 10 m以下での使用を推奨します。 ...
表示器付きはラインアップしておりません。別途、弊社「EJX530J 圧力伝送器」もしくは「ディジタル指示警報計 UM シリーズ」等のパネル用指示計と組み合わせてください。
圧力センサの校正証明書・成績表は、標準のスタイルでしか発行しておりません。測定ポイントは 0 %、50 %、100 % の 3 点です。
「ゲージ圧」は大気圧基準で測定圧と、その時その場所の大気圧との差圧をセンサで検出します。 「絶対圧」は絶対真空基準で、測定圧と真空基準室の差圧を検出します。 詳細は「小形圧力センサガイドブック」の「圧力の種類」をご参照下さい。 ...
測定原理により、様々な特徴があります。最も一般的なものは半導体ピエゾ抵抗式のセンサです。小形で高感度、高耐圧、なおかつ再現性が優れているのが特徴ですが、汚染には弱く直接接液することができないため、隔壁ダイアフラム構造と封入液が必要となります。 静電容量式は以前主流の原理であり、シンプルな構造でコストパフォーマンスに優れています。また、低圧に対する感度が高い一方、高圧に対する過大圧保護構造も容易で、微差圧センサなどに適しています。 シリコンレゾナント方式は、もっとも再現性に優れ、長期的な安定性にも...
小形圧力センサとは、気体または液体の圧力を測定して、電気信号に変換して出力する機器です。
圧力センサの原理は多数あり、よく知られているのは、歪ゲージ抵抗式、半導体ピエゾ抵抗式、静電容量式、シリコンレゾナント式などがあります。各方式により圧力による変位や応力などの物理的な変化を、抵抗値や静電容量、周波数などの電気的な変化で検出します。 また、一部の封入液レスタイプを除き、測定流体からセンサ素子を保護するため、耐食性金属のダイアフラム隔壁を設け、内部に封入された高純度シリコンオイルを介してセンサ素子に圧力を伝える、2重ダイアフラム構造が主流です。 ...
圧力センサの選定においては、下記が基本要件となります。 圧力の種類及び、レンジ ゲージ圧、連成圧、絶対圧の違いおよび測定範囲と許容過大圧 測定対象の種類 気体、液体、腐食性、爆発性 出力信号の種類 4 - 20 mA、1 - 5 V、デジタル信号、表示器 周囲環境温度、接液温度 高温、低温 取り付けねじの種類 サイズ、規格(管用ねじ、サニタリ、フランジ等) ...
小形圧力センサ要覧、小形圧力センサガイドブック、エキレス™シリーズ要覧、および一般仕様書、取扱説明書、外形図などがダウンロードできます。

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