横河電機株式会社
横河ソリューションサービス株式会社

高精度圧力センサモジュール
お知らせ: 本製品は、2022年9月30日に販売終了しております。

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他社の代替製品例

メーカ 形名 通信方法 精度 製品カタログ
DPS8000 日本ベーカーヒューズ RS-232, RS-485 ± 0.01% FS https://qrco.de/bd2Jes

横河独自のシリコンレゾナント センサ搭載。超高精度、高安定、高信頼 です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、 気象用やレーザー補正用の気圧計、ワイドスパンの真空計、 FC(燃料電池)実験装置、リークテスタ等の圧力センサとしてご利用いただけます。 

対象機種:

  • 高精度圧力センサモジュール
    • MU101

詳細

特長

高精度圧力センサモジュール MU101

高精度圧力センサモジュール MU101

直線性、ヒステリシス、再現性 ± 0.01 % FS の高精度
出力 EIA RS-232-C に準拠 コンピュータへのインターフェイスが容易
シリコン振動式圧力センサ(シリコンレゾナントセンサ)を搭載
低消費電流 ( 10 mA 以下)
温度特性 ± 0.0008 % of span / °C Typical 、長期安定性抜群
小形軽量
シールダイアフラム構造(ハステロイC 使用)

 

詳細仕様につきましては、一般仕様書をご参照ください。

測定コード ゲージ圧測定用 絶対圧測定用 最大加圧 分解能
L 0 ~ 10 kPa 200 kPa 0.8 Pa
M 0 ~ 130 kPa 0 ~ 130 kPa abs 520 kPa 2 Pa
H 0 ~ 700 kPa 0 ~ 700 kPa abs 1.4 Mpa 30 Pa
A 0 ~ 3 MPa 4.5 MPa 60 Pa
  MU101
被測定体 気体および液体
出力信号 EIA RS-232C に準拠
通信同期方式 半二重伝送
ボーレート 1200 bps
通信ポートコネクタ D-SUB 9 ピンコネクタ
精度 スパンの ± 0.01 % (直線性、ヒステリシス、再現性を含む)トレーサブル
(測定コード:Lは、スパンの ± 0.02 % トレーサブル)
弊社出荷時は、スパンの ± 0.02 % に校正
測定コード: L および絶対圧は、スパンの ± 0.03 % に校正
温度特性 ± 0.015 % of span/°C
( 5 ~ 45 °C 間の 40 °C 幅、± 0.0008 % of span/°C Typical値、測定コード: L 以外)
± 0.03 % of span/°C
( 5 ~ 45 °C 間の 40 °C 幅、± 0.0015 % of span/°C Typical値、測定コード: L)
補償温度範囲 5 ~ 45 °C
動作温度範囲 -5 ~ 55 °C
使用圧力 0.013 kPa abs 以上(絶対圧)、2.7 kPa abs 以上(ゲージ圧)
電源電圧 6 ~ 24 V DC
消費電流 10 mA 以下
入力コネクタポート Rc 1/4 (PT 1/4 )めねじ、または 1/4 NPT めねじ
材質 ダイアフラム: ハステロイC
入力コネクタ: SUS316
ケース: 鋼板
質量 約 640 g

※1 直線性、ヒステリシス、再現性を含む

出荷時の調整

高精度圧力センサモジュール MU101

高精度圧力センサモジュール MU101

本器出荷時は、下記条件で調整されています。

  • 周囲温度: 25 °C ± 5  ℃
  • 供給電源電圧: 24 V DC ± 1 %
  • 圧力センサの姿勢: 水平
  • 時定数: 2 sec

出荷時の精度はスパンの ± 0.02 % に校正、測定コード: L および絶対圧はスパンの ± 0.03 % に校正されています。

 

詳細仕様はお問い合わせください。

 

VCR継手

適用機種:MU101
継手をVCR対応に変更します。 

VCR継手

関連情報

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MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、VB (ビジュアルベーシック)を用いた例を製品仕様書に記載しています。ご確認ください。
製品仕様書にコマンド一覧および通信プログラム例が記載されておりますので、MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書をご参照下さい。
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ケースが非防水構造のため屋外使用はできません。防水ケースなどに収納してご使用ください。
液体でも使用可能です。受圧部材質はSUS316およびハステロイダイアフラムの溶接構造です。
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精密測定器のため、ノイズがありますと測定誤差の発生や RS232C の通信エラーが起こる可能性がありますので、できるだけノイズがない環境でご使用下さい。また、まれに通信エラーが発生したり、極端な測定誤差値の読み込みを防ぐため、通信のリトライや、測定値の極端値の切捨てなど、プログラム上での設定をお願いします。 ...
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MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、ビジュアルベーシック( VB6 )を使用した基本プログラムの例が記載されています。ご確認ください。
それぞれ単品でご購入後、当社販売代理店窓口経由で当社関連サービス会社に組み合わせ校正を依頼して下さい。
非常に安定性に優れたセンサで、長期間にわたり精度変化もわずかです。しかし全く変化しないわけではありませんので、用途の重要度に応じて、トレーサビリティが必要な場合は 1 年に 1 回程度校正されることをお勧めします。 ...
MU101 高精度圧力センサモジュールの一般仕様書に、VB(ビジュアルベーシック)を用いた例が記載されています。ご確認ください。
あります。特注品ですがプログラム設定等が不要な専用表示器をご用意しております。(代表形名:MU101D/Z ) この表示器を MU101 本体と RS232C ケーブル(リバースタイプ)で接続していただければ、出力信号がダイレクトに 6 桁表示されます。 表示器は AC 100 V 電源駆動で、なおかつセンサ用電源端子を備えており、とても便利です。 ...
校正業務をおこなっている関連会社で引き取り校正を承ります。当社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。当社販売代理店がご不明な場合は、当社営業にお問い合わせ下さい。 ...
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当社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。販売代理店がご不明な場合は、当社営業にお問い合わせ下さい。
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