| 1915年 | 建築家・工学博士横河民輔が、横河一郎、青木晋の参加を得て、東京府渋谷町に電気計器の研究所を設立 |
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| 1917年 | 電気計器を発売。日本の電気計器国産化の先駆けとなる |
| 1920年 | 株式会社組織とし、(株)横河電機製作所と称す |
| 1933年 | 航空計器、流量・温度・圧力等の自動調整装置の研究・製造を開始 |
| 1948年 | 株式を一般に公開 |
| 1950年 | 日本初の電子管式自動平衡計器を完成 |
| 1955年 | フォックスボロー社（米国）と工業計器に関する技術援助契約を締結 |
| 1957年 | 北米営業所 Yokogawa Electric Works, Inc.を設立 |
| 1964年 | 工業用分析計市場に本格進出 |
| 1969年 | 渦流量計を完成し、製造・販売を開始 |
| 1974年 | シンガポール工場 Yokogawa Electric Singapore Pte. Ltd.を設立 オランダにヨーロッパ営業所 Yokogawa Electric (Europe) B.V.を設立 |
| 1975年 | 世界初の分散形制御システム、総合計装制御システム「CENTUM」発表 |
| 1983年 | (株)北辰電機製作所と合併、横河北辰電機(株)に社名変更 |
| 1985年 | 中国の西安儀表廠と合弁で、計装システムの設計・販売会社、西儀横河控制系統有限公司を設立 |
| 1986年 | CI（コーポレート・アイデンティティ）実施、横河電機（株）に社名変更 |
| 1988年 | 高周波測定器分野へ本格参入 |
| 1990年 | バーレーンにYokogawa Middle East E.C.設立 |
| 1996年 | 共焦点レーザ顕微鏡スキャナを発売、バイオテクノロジー分野に参入 |
| 2002年 | 安藤電気(株)を100％出資のグループ会社とする |
| 2008年 | 新薬開発を支援するバイオテストシステム開発、創薬支援システム市場に本格参入 |
| 2010年 | 測定器ビジネスを横河メータ＆インスツルメンツ（株）に統合 |
| 2013年 | 国内制御事業の販売、エンジニアリング、サービスを担う、横河ソリューションサービス（株）発足 |
| 2016年 | KBC Advanced Technologies plcを買収 |
| 2021年 | 中期経営計画「Accelerate Growth 2023」を発表 |