センサ

β線、X線、赤外線、可視光を用いた4種類のセンサから、測定対象に合わせて最適なセンサを選択することができます。いずれも非接触センサで測定対象を傷つけることなく高精度で連続測定します。
＜測定範囲＞
・β線式検出器（0～5000 g/㎡＠アルミニウム）
・X線式検出器（0～1200 g/㎡＠アルミニウム）
・赤外線式検出器（10～2000 μｍ＠PP）
・光学式塗工・多層膜厚計（0.5～200 μｍ＠ガラス基板上の酸化アルミニウム蒸着サンプル）

β線式検出器

測定物に放射線源から放出される放射線を照射し、測定物を透過させる時に減衰した放射線の量から厚さ（坪量）を測定します。β線式検出器は測定できる厚さ範囲であれば測定物を選ばず測定できます。

測定対象に最適な線源を選択
放射線源には147Pm（プロメシウム）・85Kr（クリプトン）・90Sr（ストロンチウム）を用意しており、測定物により選択します。
高精度測定
透過方式のセンサは原理上、測定物の測定と同時に空気層も測定しますが、空気層の影響をキャンセルするために、空気層温度による補正機能・空気層の温度や密度を常に一定にするエアパージ機構を装備しています。また、放射線源の減衰を自動で補正する機能、放射線の統計ノイズを抑える演算処理機能など多彩な機能で常に安定した高精度測定をします。

X線式検出器

測定物にX線管から放出されるX線を照射し、測定物を透過させる時に減衰したX線の量から厚さ（坪量）を測定します。X線式検出器は測定物の原子量により感度が異なり、特に金属系元素に対する感度が高いことから、セラミックシート（MLCCなど）、電池電極などのIT系の素材測定によく用いられています。

安定性と高出力を実現した独自のX線管
X線管には、“優れた安定性”と“大出力”の特徴を兼ね備えたX線式検出器専用の反射式3極管構造を開発し、安定化と高出力化の両方を実現しました。
高精度測定
空気層の影響を最小限に抑える、空気層温度による補正機能・空気層の温度や密度を常に一定にするエアパージ機構を装備しており、常に安定した高精度測定をします。

赤外線式検出器

測定物に赤外線光源からの赤外線を照射し、測定物を透過させる時に減衰した赤外線の量から厚さ（坪量）を測定します。赤外線式検出器はCH基に感度が高く、多くのフィルム・シートに適用できます。

交換不要の光源
赤外線発光部は赤外線式検出器専用の電熱線を採用し、半永久的な寿命を有します。測定物の厚さに感度が高い波長帯フィルタを選択して使用します。
高精度測定
測定物の厚さに感度がある波長帯フィルタの他にも、数種類の波長帯のフィルタを使用することにより、ヘイズ・色・環境温度の変化を最小限に抑え、安定した高精度測定をします。

光学式塗工・多層膜厚計

測定対象の各界面から反射した光を分光し、反射スペクトル周波数を求めることにより、最大で5つの層の厚さを同時に測定します。光学式塗工・多層膜厚計は、可視光が通過する光学フィルムであれば、各層の膜厚をそれぞれ測定できます。

薄物にも強い
他の透過式センサに比べ、より薄い膜厚測定を得意としています。多層膜厚のみならず、単層薄物の膜厚測定も可能です。
パスライン変動に強い
フィルムが上下に変動するとフィルムから戻ってくる反射光量が増減します。しかし、反射光の干渉縞を周波数変換することで膜厚を測定するので、パスライン変動に強い方式です。