半導体業種向け歩留改善支援システム
Wafer Sleuth
特徴
Wafer Sleuth (ウェハ・スルース) は、「歩留に悪影響を与える装置やチャンバを特定したい。バラツキを生むプロセスを発見したい。Non Product Wafer を削減したい。解析工数を削減したい」というユーザーに最適な製品です。“Sleuth”は、日本人には馴染みの薄い単語ですが、探偵・刑事などと訳される言葉です。
お客様にかわって探偵となり、ウェハの足跡を追うことによって、半導体製造の何百と言う長い工程から、歩留に悪影響を与えるプロセスや装置、チャンバを見つけ出す、それが、半導体業種向け歩留改善支援パッケージWafer Sleuthです。
ウェハの位置や処理順を意図的にランダマイズするという半導体業種向け歩留改善支援パッケージ Wafer Sleuth 独特のアイディアで、これまで表面化しにくかった問題点を簡単に、スピーディーに、顕在化します。
Wafer Sleuthは、米Sleuthworks社の商標または登録商標です。
Wafer Sleuth は、クリティカルな工程の前後で ウェハ位置 (スロット位置、処理順等) を 意図的にランダマイズ し、これまで表に出てきにくかった 問題工程を浮き彫りに します。
同一処理順で処理した場合
- 製品の最終歩留結果を各工程にあてはめると、どの工程でも歩留と処理順の相関は同じになります。 (白：良品、黒：NG)
各工程でランダマイズして処理した場合
- 工程ごとに処理順をランダマイズすることにより、歩留と処理順の間に相関のあるプロセスを浮き彫りにします。
- 半導体製造工場
