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YOKOGAWA

横河電機株式会社

露光工程インライン管理システム

PIM

システム構成

PIM は、規模に応じて柔軟なシステム拡張を行うことができます。

| 基本構成 | 動作環境 |

基本構成

PIMシステム構成

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動作環境

 サーバー

    OS: Windows 2000、Windows XP
    CPU: Pentium4 2.8GHz
    メモリー: 512GB以上
    通信カード: Ethernetカード (HSMSの場合)、RS232Cカード (SECSの場合)
    (最新のOSへの対応状況につきましては、お問い合わせください)
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