露光工程インライン管理システム
PIM
特徴
PIM (Photo Inline Manager) は、露光機および塗布・現像機を連携制御し、効率的なフォトリソ工程を実現します。号機、レチクル、ロットに対する補正処理、設備の点検機能を含めた自動化を実現し高度なプロセス制御が必要となるフォトリソ工程運用を可能とします。
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