露光工程インライン管理システム
PIM
機能
装置の稼動状態が1目でわかるGUI
- 装置、ホストとのライン状態表示
- レチクル、ポート状態表示
- 通信メッセージ表示
メイン情報ＧＵＩ
レジストの管理
- レジスト設置確認機能
- レジストの残量確認機能
- レジストの有効期限
ロット情報
- レシピ情報など作業データ詳細表示
- ウェハごとの進捗情報を表示
通信機能
- ＳＥＣＳ通信インターフェース (ＳＥＭＩ標準規格に準拠)
- ＨＳＭＳ通信インターフェース (ＳＥＭＩ標準規格に準拠)
露光機内レチクル管理機能
- 装置内レチクルのPIMから操作機能
- レチクルの情報 (ポジション、ゴミ検査結果) をホストへ報告機能
枚葉管理機能
レシピ補正機能
イベント・アラーム設定機能
稼動状態報告機能
日常点検自動化機能
ロット状態表示GUI
- EESサーバーとの通信
- 補正値制御サーバ間通信インターフェイス
- オンライン／オフライン運用でのユーザーインターフェイス
PIMは、生産設備を選ぶことなく、共通化されたプラットフォームとしてエンジニアリングノウハウを反映できるフォトリソ工程制御を実現します。
- 作業ミスの低減
- オンライン制御対応
- 装置保全向上
- 製品の品質向上
