露光工程インライン管理システム
PIM
FAQ
PIMに関して、よくある質問と回答です。
よくある質問
よくある質問 & 回答
効果・メリット
Q1. 露光機および塗布・現像機を連携制御できますか？
A1: 露光機および塗布・現像機を連携制御し、効率的なフォトリソ工程を実現します。
Q2. ロット補正処理、設備メンテナンスを含めて自動化できますか？
A2: 号機、レチクル、ロットに対する補正処理、設備の点検機能を含めた自動化を実現し高度なプロセス制御が必要となるフォトリソ工程運用を実現とします。
導入
Q1. 導入済みのCELLコントローラと接続できますか？
A1: お客様の設備標準仕様によるホスト通信に対応します。
Q2. エンジニアリングノウハウは反映できますか？
A2: 共通化されたプラットホームとしてお客様のエンジニアリングノウハウを反映できるフォトリソ工程制御を実現することが可能です。
運用・保守
Q1. ステータス表示はどのように表示されますか？
A1: 装置、ホストとのライン状態、レチクル、ポート状態表示や通信メッセージ表示をひと目で分かるように表示します。
Q2. サブシステムとの接続は可能ですか？
A2: 露光機関連のサブシステムとの接続による露光プロセスの高度プロセス制御を実現します。 例えば、EESサーバや補正値制御サーバとの通信も容易に接続できます。
