露光工程インライン管理システム
PIM
導入効果
フォトリソ・インライン装置の作業のムダを排除し、作業ミスの低減、作業効率向上や装置保全性の向上を実現します。
経営効果
フォトリソ工程の見える化
- 変革とスピードが求められる現在の経営環境において、フォトリソ工程の見える化 を実現し、経営の判断、業務の判断をより迅速にフィードバックさせる環境を提供します。
- 市場の変化に機敏に柔軟に対応できる露光機内レチクル管理やレシピ補正を実現します。
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横河電機株式会社
Japan
