半導体装置オンライン化ソフト
EQBrain™
特徴
EQBrainシリーズは、業界標準仕様であるSEMIスタンダードおよびSelete仕様の通信規格に対して製造装置の自動化に必要な、MES (製造実行システム) オンライン通信インターフェースをサポートします。
装置／プロセスデータ収集のための、FactoryEESシステム通信には、e-fabDoctorシリーズが、通信インターフェース実装をサポートします。
関連製品ページ
| YOKOGAWAのEES | 半導体製造装置EESプラットフォーム e-fabDoctor |
| SECS/HSMS通信シミュレータ BrainArTEST |
半導体・FPD業界標準であるSECS・HSMS通信インターフェース (SEMIスタンダード通信) 対応から完全自動搬送の製造工場内での製造装置に要求されるGEM300通信インターフェース対応までをカーバーします。スタンダード通信を熟知しなくても使用できるので、SEMIスタンダードのスタディ期間およびスタンダードフル対応までのトータル開発期間を削減します。
また、PLCインタフェース機能*を標準装備している事で、Windowsプログラミングに不慣れな装置担当者に、BrainSETTER*から設定情報を入力していただくだけで、Windows上で動作する実行モジュールを簡単実装できます。
* PLCインターフェース機能は、EQBrain300には含まれておりません。
従来からのSECS-I/HSMS (通信プロトコル) からGEM300 (300mm対応スタンダード) までをカバーする製品ラインナップにて、製造装置メーカ様の実装、標準化されたオンライン仕様 (SEMI、Seleteオンライン要求) からレトロラインまでをサポートいたします。
EQBrainV4： 200mm (GEM対応)
SEMI標準のGEM準拠の通信性能を提供いたします。
EQBrain300： 300mm (GEM300) 対応
SEMI標準の300ミリオンラインスタンダード準拠の通信性能を提供いたします。
EQBrain-Lite： NonGEM対応 ※1
SEMI標準の通信インターフェース (SECS・HSMS) プロトコルを提供いたします。
※1 EQBrain-Liteは、VisualStudio2005 以降での対応製品となります。
各導入フェーズに、ご要望に応じたご提案をご提供いたします。
- SEMIスタンダードトレーニング
横河電機では、SEMI標準化活動にも参加しております。本標準化活動の経験者が製品化にも 携わることで、業界標準規格準拠の通信ソフトウェアとしてご使用頂けます。
別途、導入トレーニングを受講する事で、SEMIスタンダードトレーニング期間を更に削減できます。 - オンライン仕様書作成 (コンサルタントサポート)
オンライン通信仕様書の雛形を元に、対象装置向け個別通信仕様書を作成頂けます。
別途、コンサルティング業務対応も行います。 - オンラインソフトウェアの作り込み
BrainSETTERからコンフィギュレーションファイル生成ツールにて、パラメータチューニングによる作り込みの軽減ができます。
実装・導入トレーニング、実装サポートメニューも準備しております。 - テスト
横河電機の技術者 (SE)、プロジェクトメンバーは、製造装置メーカ殿やデバイスメーカ殿の立ち上げ 支援を普段より通常業務として経験しておりますので、テスト業務サポートを行う事も致します。 - メンテナンスサポート
リリース後のユーザーサポートも行います。
年間保守メニューを準備しています。
