レシピ管理システム
e-RecipeSTORE™
特徴
e-RecipeSTORE™は、半導体デバイス製造装置のレシピを効果的に管理するSEMI Standard 対応のRMS (レシピ管理システム/Recipe Management System) です。
レシピ変更の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理します。これにより、レシピ管理に要する工数の低減と人為ミスによる製品スクラップを防ぎます。
- Webサーバー・Webクライアントにより、レシピ管理作業をクリーンルームから解放
- これまで装置にしか存在しなかったレシピの操作履歴、レシピボディの詳細を見える化
- 重要な機密事項であるレシピは、細かなユーザ権限制御で、必要な人に、必要なところだけ情報共有
- レシピ管理の効率化、作業負荷低減によるコストダウン
- システムによるパラメータチェック、ステータス管理による制御で人為的ミスを低減
- 装置メーカ、機種ごとに異なるレシピ構造を吸収する、テンプレートフリー、レイアウトフリー化
- 半導体（デバイスメーカー、装置メーカー）
- FPD (Flat Panel Display) パネル
- 太陽電池
