e-RecipeSTORE™

 レシピの一覧表示機能

各機種、号機に登録されているレシピの一覧はもちろん、装置とe-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) の同期状態やメインレシピ (フローレシピ) とサブレシピ (プロセスレシピ) の連携状態、他装置への展開状態、検索キーによる絞り込みなど、多彩な表現でレシピの状態を見える化します。

 レシピのアップロード機能

SECS通信のS7Fx に代表されるレシピ操作コマンドを活用し、既存装置からオンラインでレシピを吸い上げます。また、アップロード時に、装置とe-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) の差分を表示するなど、要所要所で整合性を確認し、人為的ミスの軽減に努めます。

 レシピの編集機能

レシピ編集作業を、作業効率の悪いクリーンルームから解放し、業務効率を改善します。また、入力されたパラメータの整合性チェック (閾値、型、他パラメータの参照など) により、レシピ管理の作業負荷を軽減し、人為的ミスを軽減します。レシピ編集中は、レシピのチェックイン／チェックアウト、承認機能などにより、ご操作や重複作業によるミスを排除します。また、e-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) 上で編集されたレシピは、ダウンロードされるまでは装置やロット処理に影響を与えません。いつでも安心して作業を行うことができます。

 レシピのコピー (展開) 機能

他の装置 (号機) のレシピやPPIDの異なるレシピ、過去バージョンのレシピなどから、レシピをコピーすることにより、展開工数を低減し、派生レシピの保守管理業務を効率化します。

 レシピの比較機能

他の装置 (号機) のレシピやPPIDの異なるレシピ、過去バージョンのレシピなどe-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) の持つ全てのレシピボディを比較表示することができます。展開状況の確認などにかかる作業負荷を低減し、組織を横断した情報共有で、作業の属人化を排除し、スキル共有による業務改革を促します。

 レシピのダウンロード機能

SECS通信のS7Fx に代表されるレシピ操作コマンドを活用し、既存装置へオンラインでレシピを展開します。また、ダウンロード時には、編集状態による制御や、装置とe-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) の差分を表示するなど、要所要所で整合性を確認し、人為的ミスの軽減に努めます。

 レシピのテンプレート化

レシピの構造は装置によってマチマチです。e-RecipeSTORE™ (RMS/レシピ管理システム) なら、プログラムレスのテンプレート定義に よって、様々なタイプのレシピに対応できます。また、テンプレートの設定により、パラメータごとに参照・編集権限を設定できますので、必要なものだけを、必要な人にだけ、開示することが可能です。

 運用にあわせたカスタマイズ機能

• レシピは製造・品質に直結する重要なファクターです。当然、お客様によってその管理や運用への適用にはそれぞれの考え方やノウハウがあります。
  ロットの着工指示などに合わせたレシピを有効化するタイミングや同期チェックのタイミングなど、お客様の運用に即したシステムをご提案いたします。

 APC、EESや他の解析システムと連携した高度なレシピ制御

• APCなど外部のツールと連携し、リアルタイムに、最適なレシピパラメータをチューニングすることにより、更に高度な制御が可能となります。

 オンラインコントローラ・オンライン支援業務との連携

• SEMI Standardの規定があるとはいえ、レシピの詳細は製造装置によってマチマチです。横河電機には、装置コントローラ (EQBrain)、オンラインコントローラ (CELLBrain) の開発やオンライン業務支援 (OBS：Online Business Service) の豊富な経験があります。レシピの構造はもちろん、使用するStream Function やオンラインシナリオなど、あらゆる角度から検討し、レシピ管理業務の効率最大化とロット処理への影響が最小化をご提案します。