レシピ管理システム
e-RecipeSTORE™
導入効果
装置ごとに仕様の異なるレシピは、管理コストも高く、誤ったときには大量のスクラップウェハを出す原因ともなりかねません。レシピ管理を効率的に行うことは、業務効率改善に依るコストダウンだけでなく、損失の低減にも役立ちます。
経営効果
- レシピ管理の効率化によるコスト削減
- スクラップウェハの予防によるコスト削減
- タイムリーなレシピの更新による迅速な立上げ、競争力強化
業務効果
- レシピ管理の作業負荷軽減、工数削減、運用保守費の削減
- 見える化、情報共有によるスキル伝承、スキル共有
- システムによるパラメータチェック、ステータス管理、承認管理などによる誤操作帽子、人為的ミスの低減
- 問題発生時の原因究明による再発防止
