半導体製造装置EESプラットフォーム
e-fabDoctor™
特徴
e-fabDoctor™は、半導体 SEMI Standard に対応したEES （装置エンジニアリングシステム） プラットフォームです。装置の詳細な稼働データを収集し、プラットフォーム上にFDCやAPC、SPCといったEEQA／EEQMのEES機能を実現します。
製品概要
e-fabDoctor シリーズは、業界標準仕様のSEMIスタンダードおよびSelete仕様の装置／プロセスデータ収集のための、
EES (Equipment Engineering System) プラットフォームを提供いたします。
お客様の装置の診断を行い、異常の早期発見、稼働率改善、保全工数・費用の削減を手助けします。
関連ページ
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【製品の紹介】
e-fabDoctor Passport ：EDA I/F
- SEMI が提唱する業界標準仕様の EDA I/F (Interface A) を実装した製品です。
- 弊社製e-fabDoctor EEManager/Duo に加え、他社製アプリケーションとの接続が可能です。
- データソースとして、FA-M3R などの PLC や、DeviceNet などのセンサ、SECS メッセージが利用可能です。
e-fabDoctor EEManager ：EEM リアルタイムDB (DWH)
- e-fabDoctor Passport 等 EDA I/F から送信される装置データを保存する製品です。
- 装置データが保存された DB にアクセスすることで、FDC アプリケーション等が構築可能になります。
e-fabDoctor Duo ：TDI (Tool Data Interface)
- Selete の TDI 仕様に準拠した装置データを保存する製品です。
- ODBC I/F 経由で DB にアクセスすることで、EEQA / EEQM アプリケーション等が構築可能になります。
e-fabDoctor Finder ： トレンドViewer
- e-fabDoctor EEManager に接続し、リアルタイムでの装置データの閲覧が可能です。
- 過去のトレンド表示やデータの簡易解析も可能です。
(表示画面例を動画で確認できます)
e-fabDoctor FDC ：不良解析ツール
- e-fabDoctor Passport 等の EDA I/F から送信される装置データを収集し、リアルタイムで不良解析を実行します。 プロセス異常や装置構成部品の経年劣化などを検出・通知することにより、プロセスの安定化や故障予知等が可能になります。
(表示画面例を動画で確認できます)
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