半導体製造装置EESプラットフォーム
e-fabDoctor™
不良解析ツール
e-fabDoctor FDCは、半導体製造装置用EEネットワーク接続ツールです。
| 特徴 | 運用・操作画面 表示例 (動画あり) | 動作環境 |
e-fabDoctor FDC とは
e-fabDoctor FDC は、e-fabDoctor Passport などの EDA I/F (Interface-A) から 提供された装置エンジニアリングデータ (EE データ) を使って、リアルタイムに不良解析を実行するツールです。
解析結果は内部のデータベースに保存され、APC や EEQA, EEQM などの EES アプリケーションから参照可能です。e-fabDoctor での EES の実績や弊社の石油化学分野などの生産制御技術のノウハウを生かした、不良解析・分類も行います。
半導体製造装置メーカのみならず、デバイスメーカを想定した、データ収集・保存・解析といった半導体製造装置の有効稼働率を改善する、EES のトータルソリューションを提供します。
- EDA I/F 経由で装置データの不良解析・分類
- リアルタイム/バッチ診断による不良解析
- 専門知識を必要としない、簡易設定機能
- SPC (統計的プロセス管理) による標準機能に加え、ユーザ独自の不良判定を追加可能
- 不良原因による分類が可能
- EDA I/F 経由での解析データに加え、ファイルによる取り込み等も順次対応予定
FLASHによる動画のデモンストレーション (自動再生) でもご紹介しています。
動画は無音声です。(画面：1024×768推奨)
設定
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e-fabDoctor FDC 表示画面例
ドリルダウン解析1 (不良検出および該当する統計量の確認)
検出された不良の統計量を確認する画面例です。
(画面2～画面3の操作)
再生時間：55秒 【ループ再生】 
動画で操作を見る
e-fabDoctor FDC 表示画面例
ドリルダウン解析2 (統計量の閾値の調整および生データの確認)
検出された不良のプロセスデータ (生データ) を確認する画面例です。
(画面3～画面4の操作)
再生時間：3分20秒 【ループ再生】
CPU : Pentium4 2.8GHz以上
主記憶容量 : 2 GB以上
ディスク容量 : 300GB以上
OS : Windows Server 2003 Standard Edition
RDBMS : Microsoft SQL Server 2005
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