半導体業種向け製造管理システム
CIMVision™-semi
特徴
CIMVision™-semi は、豊富なMES導入実績に基づき、最先端 300mmウェハ製造工場に求められる要件を備えた半導体製造管理をおこなうためのシステムパッケージ (MES) です。 短期間で確実にASICライン、研究試作ラインに必要となる詳細なプロセス制御を実現します。 POP的な工程進捗管理を中心としたシステムから、自動化対応ラインまで拡張性、柔軟性のあるフレキシブルな構成、対象ライン、および管理規模に応じたシステム構築を実現します。 ディスパッチャ管理、SPC制御情報管理や装置･搬送管理システムなどと非常に高い親和性を有しており、これらとのインテグレーションにより工場全体の統一運用を柔軟且つ高次元に支援します。
関連製品ページ
量産工場・最先端の試作研究ラインでの実績
- 量産工場・試作研究ラインでの運用実績
- 全自動化対応ラインから手入力による工程進捗管理まで拡張性/柔軟性のある構成
業界標準
- SEMIをはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックしています
統一プラットフォーム
- 300 mm対応装置だけでなく、GEM準拠装置や従来のSECS-IIベースの混在装置を接続する既存のCELLBrainの上位互換のパッケージです。
オープンなデータ活用が可能
- データベース設計情報の開示によりオープンなデータ活用が可能
- 既存システムとのデータ連携が容易
最小のハードウエアリソースで運用、早期立上げ
- ハードウェア・プラットフォームに依存しない (商用UNIX, Linux, Windows可能)
- 弊社オリジナルパッケージの強みとして、要件に合わせたカスタマイズと早期の立上げが可能
半導体製造工場 (300mm・200mmライン)
- 導入実績：14社20工場
