半導体業種向け製造管理システム
CIMVision™-semi
機能
基礎情報管理 (マスター)
- ユーザー定義
- 製品定義
- 工程フロー定義
設備情報
- 装置定義
工程管理情報
- ロット投入計画
- ロット投入
- 品種振替
- ロット分割/併合
- ロット凍結
- 枚葉管理（指示/実績）
- 作業開始
- 作業開始取消
- 作業終了
- 工程フロー挿入
- 作業工程巣スキップ
- 再処理工程フロー
- ロット指示
- 制約時間設定
測定情報
- 測定実績
作業実績情報
- ロット作業実績
- ウェハー作業実績
- ロット操作履歴
- プロセス実績
SPC制御情報管理
ディスパッチャ管理
レシピ管理システム (e-RecipeSTORE)
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レシピ管理システムは、レシピ内容の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理するためのパッケージです。CIMVision - semiとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。
装置オンラインシステム (CELLBrain)
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装置オンラインシステムは、装置オンライン化を含む、セルコントロールシステムを容易に構築するためのパッケージです。CIMVision™-semiとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。
露光工程インライン管理システム (PIM)
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露光工程インライン管理システムは、露光工程インライン化を容易に構築するためのパッケージです。装置オンラインシステム（CELLBrain）とのシームレスな接続が可能で、下位から上位までのソリューションが提供できます。
- 多品種少量生産から量産に柔軟に対応します。
- 品質規格外れロットの早期検出、次工程作業阻止。
- 進捗情報や生産実績、生産履歴などをリアルタイムに情報を提供します。
- 搬送作業の負荷を軽減します。
