CIMVision™-FPD

 製造基礎情報管理 (マスター)

• ユーザー定義
• 製品定義
• 装置定義
• 工程フロー定義

 計画管理

• フロント/バックパネル
• 各々のシステムへの計画投入 (個別管理できます)

 工程進捗管理

• 投入計画
• ロット投入
• 品種振替
• ロット分割/併合
• ロット凍結
• 枚葉管理 (指示/実績)
• 作業開始
• 作業開始取消
• 作業終了
• フロー挿入
• 作業スキップ
• 再処理工程フロー
• ロット指示
• 制約時間設定

 実績データ管理

• ロット作業実績
• ウェハー作業実績
• 設備稼働履歴
• ロット操作履歴
• 測定実績
• プロセス実績

 オープンなデータ活用

• 実績データの公開
• データ活用ができます

 SPC制御情報管理

 ディスパッチャ管理

 レシピ管理システム (e-RecipeSTORE)

• レシピ管理システムは、レシピ内容の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理するためのパッケージです。CIMVision™–FPDとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。

 装置オンラインシステム (CELLBrain)

• 装置オンラインシステムは、装置オンライン化を含む、セルコントロールシステムを容易に構築するためのパッケージです。CIMVision™–FPDとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションが提供できます。

 露光工程インライン管理システム (PIM)

• 露光工程インライン管理システムは、露光工程インライン化を容易に構築するためのパッケージです。装置オンラインシステム (CELLBrain) とのシームレスな接続が可能で、下位から上位までのソリューションが提供できます。