電子デバイス業種向け製造管理システム
CIMVision™-eDevice
機能
製造基礎情報管理 (マスター)
- ユーザー定義
- 製品定義
- 装置定義
- 工程フロー定義
- 容器定義
- 部材管理
- 操業カレンダー
工程進捗管理
- 投入計画
- ロット投入
- 品種振替
- ロット分割/併合
- ロット凍結
- 枚葉管理 (指示/実績)
- 作業開始
- 作業開始取消
- 作業終了
- 工程フロー挿入
- 作業スキップ
- 再処理工程フロー
- ロット指示
- 制約時間設定
- 測定データ後追い入力
- 容器管理
- カート管理
実績データ管理
- ロット作業実績
- 基板作業実績
- 設備稼働履歴
- ロット操作履歴
- 測定実績
- プロセス実績
オープンなデータ活用
- 実績データの公開
- データ活用の促進
SPC制御情報管理
ディスパッチャ管理
レシピ管理システム (e-RecipeSTORE)
- レシピ管理システムは、レシピ内容の確実なトラッキングと保持、統一したユーザーインターフェイスを実現し、レシピを集中管理するためのパッケージです。CIMVision™–eDeviceとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションを提供します。
装置オンラインシステム (CELLBrain)
- 装置オンラインシステムは、装置オンライン化を含む、セルコントロールシステムを容易に構築するためのパッケージです。 CIMVision™–eDeviceとのシームレスな接続が可能でかつ、下位から上位までのソリューションを提供します。
露光工程インライン管理システム (PIM)
- 露光工程インライン管理システムは、露光工程インライン化を容易に構築するためのパッケージです。装置オンラインシステム (CELLBrain) とのシームレスな接続が可能で、下位から上位までのソリューションを提供します。
- 多品種少量生産から量産まで柔軟に対応
- 品質規格外れロットの早期検出、次工程作業阻止
- 進捗情報や生産実績、生産履歴などをリアルタイムに情報提供
- 搬送作業の負荷軽減
