装置オンラインコントローラ
CELLBrain™
特徴
CELLBrain™は、業界標準仕様であるSEMIスタンダード (GEM, GEM300) に対応した半導体・FPD製造装置と製造管理システム (MES) を接続し、オンライン化 (自動化) を実現します。セル・コントローラとして貴社で導入予定／導入済みの製造装置のきめ細やかな高度制御、データ収集が可能です。
業界標準
- SEMIより発行されているGEM、GEM300 (CMS, CJM, PJM, STS,OSS) スタンダードに対応
- SEMIをはじめとする標準化活動に積極的に参加し、製品にフィードバックを実施
統一プラットフォーム
- 300 mm対応装置だけではなく、GEM準拠装置や従来のSECSIIべースとの混在接続が可能
プログラミングレス
- 装置毎に異なる通信メッセージやデータ収集設定を、ハードコーディングすることなく、プログラミングレスで設定できる開発支援環境BrainSETTERを用意
各種モードサポート
- ホストがコントロールするオンライン・リモートだけではなく、オンラインローカルにも対応
運用管理支援アプリケーション
- 複数のCELLBrain™や、装置毎の定義情報を一括管理するためのマネジャーアプリケーションCELLManagerを用意
オンライン業務支援 (OBS：Online Business Service) との連携
- 半導体・ＦＰＤ製造工場のシステム運用の観点から、装置のオンライン化の業務を支援するOBS (Online Business Service) と連携し製造ラインの垂直立上を実現
- 半導体製造工場
- FPD製造工程
- 電子デバイス製造工程
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