装置オンラインコントローラ
CELLBrain™
機能
- 装置情報管理
- ロット情報管理
- シナリオ設定機能
(メッセージ、イベント、ステータス、リモートコマンド、アラーム、エラーメッセージなど) - GEM、GEM300機能
- 実績収集機能
- 対装置通信機能 (HSMS通信、SECS通信)
SEMIスタンダード対応
- E4 ： SECS-I通信プロトコル
- E37： HSMS通信プロトコル
- E5 ： SECS－IIメッセージスタンダード
- E30： GEM（包括的装置モデル）
- E39： オブジェクトサービススタンダード
- E40： Process Job管理
- E94： コントロールジョブﾞ管理
- E87： キャリア管理スタンダード
- E90： Substrateトラッキングスタンダード
- E36： 半導体製造装置情報タグ仕様
- 装置特殊運用対応
- 各種ホスト接続機能
- SPC制御機能
- PLC I/F機能
- レシピ管理システム (e-RecipeSTORE) 接続機能
- 補正値サーバ接続機能
- オンライン制御対応による生産効率と信頼性の向上
- 作業ミスの低減
- 製造ラインの垂直立上
- 豊富な運用管理ツールによる保守作業工数の低減
