SECS/HSMS通信シミュレータ
BrainArTEST™
機能
BrainArTEST™ (SECS/HSMS通信シミュレータ) は、半導体製造装置・セルコントローラのオンライン通信テストを容易に行うためのソフトウェアパッケージです。
基本機能
SECS/HSMS通信
- 2次メッセージの自動応答
- 2次メッセージ選択応答
- 1次メッ セージの送信/送受信データの表示
- 送受信シーケンスの表示
- 送信データの変更
- 擬似的なエラー発生 (SECS-I,II)
- 通信結果のレポート表示、編集
- 通信シーケンス自動実行
優位性
- SEMIスタンダードに準拠
- お客様固有のSECS通信にも柔軟に対応できます。
- 複数同時に接続テストが可能です。
