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YOKOGAWA

横河電機株式会社

装置オンラインからライン全体の歩留まり改善で、半導体FPDの製造ラインを効率化します

お客様の課題

お客様が抱えている課題・問題点を解決するためのお手伝いをいたします。

共通の問題点・課題

  • 工場の見える化を実現したい
  • 多種多様な装置を使用することにより、プロセスが複雑延長化されている
  • プロセスの微細化に伴い、品質管理が複雑高度化している
  • 製品ライフサイクルの短縮に伴い、即時マーケット対応が重要となっている

開発エンジニアの問題点・課題

  • 関連ドキュメントが体系的に管理されていない
  • 実績/評価データー/解析データーが個別システム管理となっており、連携されていない
  • 画像や波形等、膨大なデーターの検索・比較を手作業で実施している

解析エンジニアの問題点・課題

  • 散在するデーターの集約を行いたい
  • データーを表計算ソフトへ入力しなければならない
  • 品質に関与するパラメーター・データーの相関を把握したい
  • 大まかな傾向分析のみで詳細解析対象を絞り込まなければならない
  • 膨大な情報の中から調査項目を探さなければならない
  • 詳細解析の実施を効率良く行いたい

生産ラインの問題点・課題

  • 量産ラインと試作ラインを共通のMESで運用したい
  • 煩雑なレシピ業務から解放されたい。同時にレシピの一元管理を行いたい
  • 装置のオンライン化(GEM対応、GEM300対応)を実現したい
  • 装置オンライン化の工数が足りないのでサポートしてほしい
  • 露光装置及び塗布・現像機の連携制御と設備の自動化を実現したい
  • 装置の生産性向上を実現するための装置エンジニアリングシステム (EES) を構築したい

テスタの問題点・課題

  • 設備の稼働状況をサイトマップでリアルタイムに表示したい
  • 稼働時間・停止時間・CPUTimeの推移グラフ等の稼働履歴を一覧管理したい
  • 基地/品種/テストプログラム/テスター機種の条件で絞り込みを実現したい
  • プローブカードの使用回数、コンタクト回数管理を構築したい
  • テスター構成情報 (システム構成やVer情報)を一元化したい
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