EES
EESは、半導体製造装置の有効稼働率を改善するシステムの総称です。 YOKOGAWAは、目的や用途に応じて、様々な EESのソリューションをご提供いたします。
EES とは・・・
EES (装置エンジニアリングシステム) は、Equipment Engineering System の略です。
- 半導体製造プロセスの微細化、ウエハの大口径化などに伴う製造コストを削減する新しい取り組みです。
- 半導体製造装置の有効稼働率を改善することにより、製造期間の短縮や効率化を目指します。
- 装置の早期立ち上げ、基本性能の安定化、機差の低減、突発的故障の予知などを実現します。
- 半導体業界標準規格化 (SEMI EDA スタンダード)も進み、必要不可欠な要素となりつつあります。
- Next Generation Fabrication (300mm Prime)でも、EES の必要性は強く求められています。
【関連キーワード】 半導体システム関連用語集 (EES)
YOKOGAWAが提供するEESのソリューション
EES には、従来の CIM 通信では収集対象としていなかった、プロセス中のデータを大量に高速で収集・保存することが要求されます。さらに、それらのデータをリアルタイムに解析しプロセス制御に利用することが求められます。YOKOGAWAは、目的や用途に応じて様々な EESのソリューションを提供します。
e-fabDoctor パッケージ・シリーズ
2002年に出荷以降、数多くの半導体製造装置メーカ様、FPD製造装置メーカ様、デバイスメーカ様に採用していただいております。
個別アプリケーション
お客様のニーズに合わせた、弊社半導体ビジネスでのノウハウを凝縮した、個別アプリケーションの提供が可能です。その一例を以下に示します。
- 稼働管理・保守作業支援システム
- 不良解析システム
- プロセスデータ報告システム
CIM (SECS/GEM)通信のイベント情報、アラーム情報を利用した、稼働履歴管理システム。
データベースに蓄積されたプロセスデータを取得し、不良解析 (単一変量) するシステム。
データベースに蓄積されたプロセスデータを抽出し、上位システムにあわせたファイルフォーマットでデータを報告するシステム。
エンジニアリング&サービス
YOKOGAWAは、装置メーカ、デバイスメーカ、ソフトベンダの側面を持ち合わせた、数少ないトータル・ソリューション・サプライヤです。それらのノウハウを生かした下記サービスの提供が可能です。
- EEQA 解析サービス
Selete 発行の EEQA コンテンツシートの作成をお客様と共に進めるサービスです。
e-fabDoctorパッケージを貸し出ししてデータを収集し、コンテンツシートを作成します。
EEQA コンテンツシートは、装置の安定稼働、保全作業に有効です。
- データ解析サービス
石油化学や鉄鋼業などの業種で実績のある高速な解析エンジンを利用して、異常原因を突きつめるサービスです。従来の解析手法では検出が困難だった異常や、解析に時間を要していた異常も原因を高速に解明することが可能になります。
【関連製品】 半導体製造装置EESプラットフォーム e-fabDoctor™
