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YOKOGAWA

横河電機株式会社

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 簡単パラメータ設定ソフト（ ToolBox温度調節・モニタモジュール）
 
リフロー炉
  N2 リフロー炉のように、温度制御と酸素濃度制御が混在したりする場合でも、 ユニバーサル入力なので、センサーの種類を問わずコントロールが可能なんです。
   
拡散炉1
 

拡散炉の制御に必要な機能がそろっています。
   
拡散炉2 
  ウエーハの大口径化、プロセスの微細化をはじめとする環境の変化から、拡散炉ではこのような特長，仕様が要求されています。
   
供給・包装装置
  ユニバーサル入力/電流出力を使用しての、供給装置へのPID制御対応の提案です。
 
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