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DPharpの原理（単結晶シリコンレゾナントセンサの概要と特長）
単結晶シリコンレゾナントセンサ採用
単結晶シリコンレゾナントセンサは、 YOKOGAWAが世界で初めて自社開発に成功し、DPharpシリーズに採用された、高性能センサです。このセンサは、第41回（平成６年度）大河内記念賞*を受賞するなど、高い評価を得ています。
シリコンレゾナントセンサは、計装の高度化にともなう高精度要求に対応でき、また従来より過酷な環境でも長期に安定した計測を行なうことを可能にしました。当社では、圧力の校正器にもこのシリコンレゾナントセンサを採用しております。
*大河内記念賞・・理化学研究所の第三代所長、故大河内正敏博士の業績を賛え、'54年に創立され、毎年、生産工学・生産技術・多量生産方式の実施等に関して特に優れた業績を挙げた個人または事業体に贈られる。大河内賞には記念賞・技術賞・生産特賞・生産賞の４部門があり、記念賞は中でも最も栄誉のある賞とされている。
*大河内記念賞・・理化学研究所の第三代所長、故大河内正敏博士の業績を賛え、'54年に創立され、毎年、生産工学・生産技術・多量生産方式の実施等に関して特に優れた業績を挙げた個人または事業体に贈られる。大河内賞には記念賞・技術賞・生産特賞・生産賞の４部門があり、記念賞は中でも最も栄誉のある賞とされている。
単結晶・高真空だから高安定
| シリコンレゾナントセンサは、H形をした振動子が高真空のシェルの中に入っています。単結晶シリコンでできているため、ヒステリシスが小さく、再現性に優れています。 |  |
２つの振動子で高精度測定
| 振動子はシリコンチップ上、中央と端に２つあります。加圧時に中央部振動子が圧縮され、固有振動数が減少し、端部の振動子では引張られ、固有振動数が増加します。この２つの振動子の固有振動数の差動演算を行なうことで、さらに高精度な測定が実現しました。 |  |
優れた感度とハイレンジアビリティ
シリコンレゾナントセンサの差圧に対するセンサの感度は、ピエゾ抵抗センサの約４倍。これに対し、温度や静圧といった外乱による信号の変化は１桁小さくなっています。
高精度・長期安定性
高精度でも長期に安定した計測ができなければセンサとしての価値はありません。例えば、室温放置・温度補正なしの状態で15年間にわたって連続試験を行なったデータでは、ゼロ点変動が±0.02%という超安定な結果を得ており、シリコンレゾナントセンサの実力を示しています。
