Q&A : MU101 超高精度圧力センサ

質問一覧（MU101 超高精度圧力センサ）

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Q	MU101 超高精度圧力センサとは何ですか?
Q	MU101 超高精度圧力センサの測定原理は何ですか?
Q	MU101 超高精度圧力センサの特長は何ですか?
Q	MU101 超高精度圧力センサの機種選定はどのようにするのですか?
Q	MU101 超高精度圧力センサの参考資料類はありますか?

Q	MU101とMU01D/Z（MU101専用表示器）を接続するRS232Cケｰブルの仕様は何ですか。ケｰブルはクロスタイプですか？また、コネクタ部のD-SUB9ピンはオス/メスのどちらですか？
Q	MU101:取付け姿勢はどういう向きでも良いですか?
Q	以前購入したMU101の形名に/Zというコードがありますが、意味を教えて下さい。
Q	通信ケーブルの詳細仕様を教えて下さい。
Q	MU101で負圧はどの位まで測定できますか?あるいは連成レンジは製作可能ですか? （例：-100～300kPa）
Q	MU01D（MU101専用表示器）の5,6番端子（5VDC出力）は1－5V信号のことですか?
Q	MU101の出力を、コンピュータや専用表示器を介さないで、直接データロガーに記録することはできますか?
Q	MU101の導入を検討中ですが、絶対圧の場合、真空側は何処まで引けますか? また、完全真空に近いところでも問題はないですか?
Q	MU101の精度は±0.01％FSトレーサブルとありますが、出荷時0.02％FSで校正とはどういう意味ですか?
Q	納入済みのMU101について、トレーサビリティ体系図の追加発行はできますか?
Q	MU101の0～700kPaabsについて最大加圧が1.4MPaとなっていますが、ここまで加圧しても壊れないということですか?また、700kPa以上の圧力にはどの様な信号が出ますか?
Q	MU101の精度は、読み値の0.02％ですか?
Q	固定されている定格レンジを拡大・縮小できますか?例：130ｋPa→200ｋPa
Q	動作可能入力範囲と最小分解能を教えて下さい。
Q	出力信号は、RS-232Cのみでしょうか?他は用意されていませんか?
Q	MU101とのRS232Cコードの送受信を、Windows上のハイパーターミナルで実行できますか?
Q	MU101とコンピュータを接続するのに準備するものはありますか?
Q	超高精度圧力センサMU101Lの「周波数応答」をお知らせ下さい。
Q	ゼロ調整後、電源を切っても設定は保持されますか?

Q	MU101+MU01Dの測定値を記録計やロガーに出したいのですが、何か方法はありますか?
Q	MU101からのRS232C通信用のベーシックソフトのサンプルはありませんか?組み方が良くわかりません。
Q	RS232Cの通信仕様およびコマンドを教えて下さい。
Q	リーク試験に使用する場合の注意点を教えて下さい。
Q	水素ガス、ヘリウムガス、フロンガス、炭酸ガス等に使用できますか?
Q	屋外使用はできますか?
Q	液体の測定に使用できますか?
Q	液位の測定に使用できますか?
Q	ノイズ環境でも使用できますか?
Q	設置姿勢の注意点はありますか?
Q	定期校正を依頼できますか?
Q	通信ソフトのサンプルプログラムはありますか?
Q	専用表示器MU01D/Zの校正証明書は発行できますか?
Q	MU101とMU01D/Zの組み合わせで校正してもらえますか?
Q	温度湿度クリーン度ともに好条件でMU101を使用していますが、圧力センサー自体の定期校正は必要でしょうか?
Q	価格と納期を教えて下さい。
Q	パソコンに使う良いソフトはありますか?
Q	プログラムや通信の知識無しで、このセンサを使用する方法はありますか?

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質問・回答一覧（MU101 超高精度圧力センサ）

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基本仕様に関するQ&A

MU101 超高精度圧力センサとは何ですか?

超高精度圧力センサとは、絶対圧力またはゲージ圧力を、非常に再現性よく高精度に測定して、ディジタル信号（RS232C）に変換して出力する計器です。

MU101 超高精度圧力センサの測定原理は何ですか?

MUシリーズは、横河電機が開発した、「シリコンレゾナント」方式の半導体圧力センサ素子を用いて圧力を測定します。「シリコンレゾナント方式」の圧力センサでは、数mm角のシリコンチップに形成されたダイアフラム（薄板）上に、微細加工技術（MEMS）を用いて、微小な振動子を形成します。圧力を受けてダイアフラムがたわむと、ダイアフラム上の振動子にかかる張力が変化し、振動子の固有周波数が変化します。この周波数の変化を検出して、圧力に対応した電気信号を得ます。詳細は、DPharpの原理を参照してください。

MU101 超高精度圧力センサの特長は何ですか?

超高精度圧力センサはもっとも再現性、長期安定性に優れ、高い耐圧性能が実現できるシリコンレゾナント式のセンサを用いています。また出力形態も、アナログ出力での伝送誤差を避けるためため、RS232Cというデジタル出力を採用しています。

MU101 超高精度圧力センサの機種選定はどのようにするのですか?

圧力センサの選定においては、下記が基本要件となります。

1.	圧力の種類及び、レンジ	ゲージ圧、連成圧の選択および測定範囲と許容過大圧
2.	測定対象の種類	気体、液体（耐食性、非爆発性）
3.	出力信号の種類	RS232C
4.	周囲環境温度	高温、低温
5.	取り付け方法	壁面ねじ止
6.	配管方法	管用めねじ
7.	設置場所	屋内用
8.	必要性能仕様	精度（常温）、温度特性、応答速度

超高精度圧力センサは、特に超高精度の測定に要求される条件で選択できるようにラインアップしております。上記の基本要件をもとに、「小形圧力センサ要覧｣(PDF) の早見表
もしくは「小形圧力センサガイドブック｣(PDF) のセレクションガイドを参照して下さい。

MU101 超高精度圧力センサの参考資料類はありますか?

下記の参考資料類があります。

・小形圧力センサ要覧 (PDF)


個別に関するQ&A

Q	MU101とMU01D/Z（MU101専用表示器）を接続するRS232Cケｰブルの仕様は何ですか。ケｰブルはクロスタイプですか？また、コネクタ部のD-SUB9ピンはオス/メスのどちらですか？
A	接続に使用するRS232CケｰブルはD-SUB9ピン（両側ともメス）のクロスケｰブルをご使用ください。（MU010およびMU01D/Zともにコネクタ部（通信ポート）がオスのため）

Q	MU101:取付け姿勢はどういう向きでも良いですか?
A	MUシリーズは、取り付け姿勢により、オフセット値（ゼロ点）が変動します。感度は姿勢の影響を受けません。出荷時は、導圧ネジの軸線が水平方向で調整されています。導圧ネジの軸線が水平でない取り付け姿勢でお使いの場合は、取り付け後に正面にあるゼロ調整ネジもしくはゼロ調コマンドの送信により、出力調整して下さい。ただし、絶対圧レンジ品の場合は、ゼロ点が真空圧ですので、圧力が残っている状態でゼロ調整をおこなうと、誤差が発生してしまったり、調整範囲エラーとなることがありますのでご注意下さい。

Q	以前購入したMU101の形名に/Zというコードがありますが、意味を教えて下さい。
A	/ZまたはZのコードは特注仕様を表しています。特注内容は個々のお客様指定内容になります。製品銘版に、XJ-□□□とNoが記載されておりますので、このXJ Noでお問い合わせを頂ければ内容を確認することができます。

Q	通信ケーブルの詳細仕様を教えて下さい。
A	一般に市販されているRS232C通信用D-SUB9ピンのクロスケーブルをご用意下さい。製品には付属されておりません。なお、RS232Cケーブルの最大長は15mまでです。（RS232Cの規格）

Q	MU101で負圧はどの位まで測定できますか?あるいは連成レンジは製作可能ですか?（例：-100～300kPa）
A	ゲージ圧の負圧レンジ品はラインアップされておりません。正圧レンジ品では、負圧側は精度保証はできませんが、レンジ範囲の約±150％まで動作は可能です。耐真空使用範囲は2.7ｋPaａｂｓ以上です。なお、絶対圧レンジ品の使用可能範囲は、0.013ｋPaabs以上です。

Q	MU01D（MU101専用表示器）の5,6番端子（5VDC出力）は1－5V信号のことですか?
A	内部で発生させている5VDC電源を端子に出しています。1～5VDC出力ではあリません。一般的には使用しません。

Q	MU101の出力を、コンピュータや専用表示器を介さないで、直接データロガーに記録することはできますか?
A	MU101の出力は、超高精度デジタル信号なので、アナログのデータロガーに直接記録ことはできません。 GS（一般仕様書）やIM（取扱説明書）に掲載してあるサンプルプログラムを参照して取り込んで下さい。

Q	MU101の導入を検討中ですが、絶対圧の場合、真空側は何処まで引けますか? また、完全真空に近いところでも問題はないですか?
A	真空使用範囲は13Paabs以上です。これを超える高真空ではセンサが故障する可能性があります。

Q	MU101の精度は±0.01％FSトレーサブルとありますが、出荷時0.02％FSで校正とはどういう意味ですか?
A	現在、国内で圧力校正をするための基準器で、国家基準に対するトレーサビリティが確保できるのは、±0.02％FS（130ｋPaレンジ以上)までです。弊社では、出荷する製品に対し、それを校正するための基準器の精度を含めてトレーサビリティを確保する必要があると考えますので、出荷品のトレーサビリティは±0.02％FSが上限となります。「±0.01％FSトレーサブル」という表現は、MU101の再現性、安定性、ノンリニア補正機能等の性能から、仮に基準器の誤差がゼロとすれば±0.01％FSトレーサブルとする実力があるという意味です。

Q	納入済みのMU101について、トレーサビリティ体系図の追加発行はできますか?
A	可能です。トレーサビリティ体系図（校正証明書)の発行は、本体をご購入頂いた販売窓口代理店にご用命下さい。

Q	MU101の0～700kPaabsについて最大加圧が1.4MPaとなっていますが、ここまで加圧しても壊れないということですか?また、700kPa以上の圧力にはどの様な信号が出ますか?
A	MUシリーズは、「最大加圧」までの圧力を加えても、故障することはありません。また、100％を超える圧に対しては、概ね150％程度まで圧力に対応した出力を発信します。（ただし、精度保証外）

Q	MU101の精度は、読み値の0.02％ですか?
A	MU101は産業用センサの通例で0％～100％の全範囲で精度をof スパンで規定しており、読み値（of リーディング）に対する精度ではありません。0％～100％のスパンに対しての精度です。

Q	固定されている定格レンジを拡大・縮小できますか?例：130ｋPa→200ｋPa
A	精度保証できるのは定格レンジ範囲のみです。出力可能範囲は定格レンジの±150％の範囲であり、精度はおおよそ仕様の2倍程度悪化します。また、正常復帰可能範囲は、下限では真空使用範囲値まで、上限では過大圧値までです。

Q	動作可能入力範囲と最小分解能を教えて下さい。
A	動作可能範囲はそれぞれの定格レンジ範囲の±150％です。分解能は出荷時設定時定数2秒において、10ｋPaレンジ：0.8Pa、130ｋPaレンジ：2Pa、700ｋPaレンジ：30Pa、3MPaレンジ：60Paです。時定数を小さくすると、分解能が低下します。分解能の規定は、仕様書のMU101 超高精度圧力センサモジュール(PDF) を参照して下さい。

Q	出力信号は、RS-232Cのみでしょうか?他は用意されていませんか?
A	RS-232C仕様のみです。

Q	MU101とのRS232Cコードの送受信を、Windows上のハイパーターミナルで実行できますか?
A	MU101本体との通信はハイパーターミナルでは正常動作しません。VB（ビジュアルベーシック)をご使用いただいている実績が多く、構築もしやすいようです。なお、特注品の専用表示器MU01D/Zを経由していただくと、ハイパーターミナルでも動作することを確認しております。

Q	MU101とコンピュータを接続するのに準備するものはありますか?
A	電源はDC24V電源をお勧めします。使用可能電圧はDC6V以上ですので、短時間でしたらバッテリー等でも動作可能です。通信ケーブルは市販のRS232Cクロスケーブルをご用意下さい。

Q	超高精度圧力センサMU101Lの「周波数応答」をお知らせ下さい。
A	周波数応答の仕様は規定されておらず、63％ステップ応答時定数で規定しております。時定数：最小 0.2sec～最大4sec上記より概算した周波数応答は0.8Hz～0.04Hzとなります。

Q	ゼロ調整後、電源を切っても設定は保持されますか?
A	ゼロ調実施後のゼロ調値は、電源を切っても保持されます。絶対圧タイプではゼロ点は真空ですので、十分真空引きしてからゼロ調を実施して下さい。誤って大気開放でゼロ調をしてしまうと、調整量エラーとなります。エラーが出た場合は初期状態にもどすコマンドにて復帰させて下さい。

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アプリに関するQ&A

MU101+MU01Dの測定値を記録計やロガーに出したいのですが、何か方法はありますか?

MU101は、RC232C出力で専用プロトコルのため、プログラムを作成できる受信器が必要です。PLCやPCを介していただく等の手立てが必要です。

MU101からのRS232C通信用のベーシックソフトのサンプルはありませんか?組み方が良くわかりません。

VB（ビジュアルベーシック）を用いた例を製品仕様書に記載しておりますので、
仕様書のMU101 超高精度圧力センサモジュール(PDF) を参照して下さい。

RS232Cの通信仕様およびコマンドを教えて下さい。

製品仕様書にコマンド一覧および通信プログラム例が記載されておりますので、
仕様書のMU101 超高精度圧力センサモジュール(PDF) を参照して下さい。

リーク試験に使用する場合の注意点を教えて下さい。

密閉された気圧を測る場合は、基準は絶対圧になります。また、密閉された気体自体が温度の変化で膨張収縮して圧力が変動しますので、温度も測定しながら基準温度相当の圧力に換算補正をしながら判定する必要があります。

水素ガス、ヘリウムガス、フロンガス、炭酸ガス等に使用できますか?

水素ガスの場合は爆発の危険を回避してご使用下さい。本品は防爆構造ではありません。へリウムガス、フロンガス、炭酸ガスなどには接液材質の問題はありません。ただし、お客様でシール材をご使用になる場合には、それぞれの用途に適した材質、構造を選定願います。メタルシールが必要な場合は、VCR継ぎ手やフレア継ぎ手などの特注対応が可能です。

屋外使用はできますか?

ケースが非防水構造のため、屋外使用はできません。防水ケースなどに収納してご使用願います。

液体の測定に使用できますか?

液体でも使用可能です。受圧部材質はSUS316およびハステロイダイアフラムの溶接構造です。

液位の測定に使用できますか?

液位測定は次の液位と圧力の関係式より、密度がわかれば圧力センサで液位測定が可能となります。
【液位測定原理】
液体が入っている容器の底には、液面の高さと液体の密度の積に比例した圧力がかかります。従って、この圧力を測定することにより、液面の高さ（液位）を知ることができます。これが圧力式液位計の原理です。
圧力と液位は下記の関係式が成り立ちますので、圧力センサを用いて液位を測定することができます。圧力センサから、水面までの高さをh、液体の密度をρ、重力加速度をg、圧力をpとした場合、「p=ρgh｣で表されます。

「例：10mの水液位の場合 98.1（ｋPa）=1（g/cm³）×9.81（m/s²）×10（m）」

ノイズ環境でも使用できますか?

精密測定器のため、ノイズがありますと測定誤差の発生やRS232Cの通信エラーが起こる可能性がありますので、できるだけノイズがない環境でご使用下さい。また、まれに通信エラーが発生したり、極端な測定誤差値の読み込みを防ぐため、通信のリトライや、測定値の極端値の切捨てなど、プログラム上での設定をお願いします。

設置姿勢の注意点はありますか?

姿勢変化によるゼロ点誤差は140Pa/90°あります。設置状態でゼロ点誤差が発生した場合には、ゼロ点調整を行って下さい。またゼロ点調整後は、姿勢が変化しないようにご注意下さい。

定期校正を依頼できますか?

校正業務をおこなっている関連会社で引き取り校正を承ります。弊社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。代理店がご不明な場合は、弊社営業にお問い合わせ下さい。

通信ソフトのサンプルプログラムはありますか?

ビジュアルベーシック（VB6)を使用した基本プログラムの例は、
仕様書のMU101 超高精度圧力センサモジュール(PDF) を参照して下さい。

専用表示器MU01D/Zの校正証明書は発行できますか?

MU01D/Zは計測器ではありませんので校正証明書は発行できません。通信された数値コードを表示しているだけの計数表示器ですので校正はいたしません。

MU101とMU01D/Zの組み合わせで校正してもらえますか?

それぞれ単品でご購入後、代理店窓口経由で弊社関連サービス会社に組み合わせ校正依頼をして下さい。

温度湿度クリーン度ともに好条件でMU101を使用していますが、圧力センサー自体の定期校正は必要でしょうか?

非常に安定性に優れたセンサで、長期間にわたり精度変化もわずかです。しかし全く変化しないわけではありませんので、用途の重要度に応じて、トレーサビリティが必要な場合は1年に1回程度校正されることをお勧めします。

価格と納期を教えて下さい。

弊社販売代理店よりお見積もりさせていただきます。代理店がご不明な場合は、弊社営業にお問い合わせ下さい。

パソコンに使う良いソフトはありますか?

VB(ビジュアルベーシック)を用いた例を製品仕様書に記載しておりますので、
仕様書のMU101 超高精度圧力センサモジュール(PDF) を参照して下さい。

プログラムや通信の知識無しで、このセンサを使用する方法はありますか?

あります。特注品ですがプログラム設定等が不要な専用表示器をご用意しております。
（代表形名：MU101D/Z）この表示器を、MU101本体とRS232Cケーブル（リバースタイプ）で接続していただければ、出力信号がダイレクトに6桁表示されます。表示器はAC100V電源駆動で、なおかつセンサ用電源端子を備えており、とても便利です。