MU101 高精度圧力センサモジュール
概要
| 小形、高精度の圧力センサです。最新型のシリコンレゾナントセンサを搭載しています。高精度、高安定、高信頼です。 圧力基準器、圧力発生器の他、ソニックノズルや層流式流量計、気象用や、レーザー補正用の気圧センサ、ワイドスパンの真空計、FC（燃料電池）実験装置用としてご利用いただけます。 | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
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特長
| 最新型シリコンレゾナントセンサを採用しています。 | |
| ゲージ圧、絶対圧ともにワイドレンジです。 | |
| 高精度±0.01%FS トレーサブルです。 | |
| 受圧部にはハステロイCを採用しています。 | |
| RS-232C 出力があります。 |
仕様
測定範囲
| 測定コード | ゲージ圧測定用 | 絶対圧測定用 | 最大過圧 | 分解能 |
| L | 0 ～ 10kPa | － | レンジの20倍 | 0.8Pa |
| M | 0 ～ 130kPa | 0 ～ 130kPa abs | レンジの4倍 | 3Pa |
| H | 0 ～ 700kPa | 0 ～ 700kPa abs | レンジの2倍 | 30Pa |
| A | 0 ～ 3MPa | － | レンジの1.5倍 | 60Pa |
| 被測定体 | 気体および液体 |
| 出力方式 | EIA RS-232Cに準拠 |
| 通信同期方式 | 半二重伝送 |
| ボーレート | 1200bps |
| 通信ポートコネクタ | D-SUB9ピンコネクタ |
| 精度 | スパンの±0.01%（直線性、ヒステリシス、再現性を含む）トレーサブル 10kPaレンジは、スパンの±0.02%トレーサブル 弊社出荷時はゲージ圧スパンの±0.02%に校正、10kPaレンジおよび絶対圧はスパンの±0.03%に校正 |
| 温度特性 ［ % of span/℃ ］ |
±0.015 （5～45℃間の40℃幅，±0.0008% of span/℃ typical値，10kPaレンジ以外） ±0.03 （5～45℃間の40℃幅，±0.0015% of span/℃ typical値，10kPaレンジ） |
| 補償温度範囲 | 5～45℃ |
| 動作温度範囲 | -5～55℃ |
| 使用圧力 | 0.013kPa abs以上（絶対圧）、2.7kPa abs以上（ゲージ圧） |
| 電源電圧 | 6～24V DC |
| 消費電流 | 10mA以下 |
| 入力コネクタポート | Rc1/4（PT1/4）めねじ、または1/4NPTめねじ |
| 材質 | ダイアフラム：ハステロイC 入力コネクタ：SUS316 ケース：鋼板 |
| 質量 | 約600g（10kPaレンジ、絶対圧レンジは約640g） |
| 消費電流 | 20mA DC以下 （1～5V DC出力、電源電圧24V DCのとき） |
ご注意
出荷時の調整について
| 出荷されるMU101の精度は±0.02%に校正、Lレンジおよび絶対圧はスパンの±0.03%に校正されています。 |
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