ナノステージ
PLANESERV
スライダ部を空気浮上による非接触構造とすることで、平面上を自由かつ高精度に位置決めするステージタイプのモータです。 併せてスライダ内に半導体レーザ干渉計を内蔵することで可動部を小型化する事ができ、高精度、高速応答を実現しました。
本製品は、2009年11月16日をもって受注停止となりました。
PLANESERV

・分解能 27nm 再現精度± 100nm(XY)、
± 0.2 角度秒(θ)
・半導体レーザ干渉計によるXY位置のエンドポイントフィードバック制御分割精度±1μm
・空気浮上による平面誤差の平均化
■高速応答
・整定時間20ms
(整定幅1 μ m 時、位置制御帯域40Hz)
・空気浮上によるメカレス,摩擦レス
■小形
・可動部質量 9kg(150N)
・半導体レーザを使用した小形干渉計搭載
・XY 駆動モータの一体化構造
・空気浮上による非接触構造
*本製品は、輸出貿易管理令・外国為替令に該当する製品です。



