ページ内を移動するためのリンクです。
グローバルナビゲーションへ
本文へ
サイト情報へ

YOKOGAWA

横河電機株式会社

ナノステージ

PLANESERV

スライダ部を空気浮上による非接触構造とすることで、平面上を自由かつ高精度に位置決めするステージタイプのモータです。 併せてスライダ内に半導体レーザ干渉計を内蔵することで可動部を小型化する事ができ、高精度、高速応答を実現しました。
本製品は、2009年11月16日をもって受注停止となりました。

PLANESERV

PLANESERV

■高精度
・分解能 27nm 再現精度± 100nm(XY)、
± 0.2 角度秒(θ)
・半導体レーザ干渉計によるXY位置のエンドポイントフィードバック制御分割精度±1μm
・空気浮上による平面誤差の平均化
■高速応答
・整定時間20ms
(整定幅1 μ m 時、位置制御帯域40Hz)
・空気浮上によるメカレス,摩擦レス
■小形
・可動部質量 9kg(150N)
・半導体レーザを使用した小形干渉計搭載
・XY 駆動モータの一体化構造
・空気浮上による非接触構造

*本製品は、輸出貿易管理令・外国為替令に該当する製品です。

お勧めカタログ!!

ソリューションカタログ

Product Catalog
(製品カタログ)

ダイレクトドライブモータの
最新アプリケーション事例や製品仕様、外形図、結線図などに加えて、お勧めの形名および仕様コードなどを掲載!!
ぜひ、併せてご覧ください。

ぜひお試しください!!

お客様評価機貸出サービス
DYNASERV「DR5H00」モータのお客様評価機をご用意しております。

お客様の環境下で、ぜひ評価してください。

デモンストレーションします!
DYNASERVの実力をお客様の目の前でご覧いただけます。

高精度な位置決め・高剛性(高いサーボ剛性)といったDYNASERVならではの特長をご覧いただくことができます

モータの選定をいたします!!

お客様の装置に最適なモータをYOKOGAWAが選定いたします。

製品資料や支援ツールを
ダウンロードできます!!

モータの製品資料や支援ツールをダウンロードできます。
ダウンロードにはお客様情報の登録が必要です。

DDM会員の方はこちらよりログインしてください。

便利な 2D・3D CADデータ

2D・3Dの各種ネイティブデータをご提供しております。
設計などの際にご活用いただけます。

受注停止製品の情報

受注停止製品(生産終了品)の一覧です。
修理受付期間もご確認できます。

ダイレクトドライブモータ
製品の輸出について

ダイレクトドライブモータ製品の輸出をお考えのお客様は
必ずお読みください。

Select Language