Ｘ－Ｙ－θ位置決めステージ
ＤＤステージ
精度が上がる。手間を省く。効率が上がる。回転/直動の組み合わせを、お客様に代わってYOKOGAWAがセットアップいたします。
マイクロステージ
■最大ストローク:1800mm
■直交度：25μm
■平行度：±20μm（X-Yフルストロークにて）
■繰り返し位置決め精度：±0.1μm（X，Y軸について）
■分解能：0.05μm（X，Y軸について）
■マルチスライダ
■補助ガイド付でロングストローク対応
■タンデム（高推力形）ステージ
（上記以外の仕様についてもご相談下さい）
■直交度：25μm
■平行度：±20μm（X-Yフルストロークにて）
■繰り返し位置決め精度：±0.1μm（X，Y軸について）
■分解能：0.05μm（X，Y軸について）
■マルチスライダ
■補助ガイド付でロングストローク対応
■タンデム（高推力形）ステージ
（上記以外の仕様についてもご相談下さい）
DDステージは、当社において十数年の販売実績を持つ、DD（ダイレクト・ドライブ）モータ、ダイナサーブと同じ原理を用い
たDDリニアモータ、リニアサーブを組み合わせて完成された当社独自のX-Y-θステージです。
ご承知の様に、DDモータは、減速機レスの特色を生かした、高精度、高タクトの次世代アクチュエータとして、従来のAC/DCサーボ
モータに代わり、多くのFA用装置・機械に採用され、より付加価値の高い製品化に貢献してきました。
DDステージはこうしたリニアサーブによるX-Yステージに加え、回転のダイナサーブによるθステージを追加、高精度、高速、コンパクトかつメンテナンスフリーな直動・回転形ステージを実現しました。 本製品は、各種産業装置・機械、特に半導体製造・検査装置、液晶製造装置等の用途に最適で、既に多くの納入実績を有しており、精 密ステージとして高い評価を得ております。
DDステージはこうしたリニアサーブによるX-Yステージに加え、回転のダイナサーブによるθステージを追加、高精度、高速、コンパクトかつメンテナンスフリーな直動・回転形ステージを実現しました。 本製品は、各種産業装置・機械、特に半導体製造・検査装置、液晶製造装置等の用途に最適で、既に多くの納入実績を有しており、精 密ステージとして高い評価を得ております。
ステージ形態事例
