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YOKOGAWA

横河電機株式会社

液晶製造装置向け

大型X-Yステージ

大型X-Yステージ

G8サイズ対応&搬送機能装備TandemThroughStage

  • TandemThroughStage
    液晶パネル製造工程を一新する次世代プラットフォーム「タンデムスルーステージ」を開発しました。
    第8世代マザーガラス基板に対応した大型XYステージに、ガラス基板の搬送機能も標準装備しています。液晶製造装置と搬送ロボットの一体化を実現し、製造ライン全体の生産性向上に貢献します。

  • BridgeStage
    第8世代ガラス基板に対応したLCD(液晶ディスプレイ)PDP(プラズマ)製造装置用プラットフォームです。構造解析による最適構造設計で石定盤を使わず短納期、DDリニアモータを高度に制御します。コータ、デベロッパー、検査、リペア装置にふさわしいX-Yステージです。


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お勧めカタログ!!

ソリューションカタログ

Product Catalog
(製品カタログ)

ダイレクトドライブモータの
最新アプリケーション事例や製品仕様、外形図、結線図などに加えて、お勧めの形名および仕様コードなどを掲載!!
ぜひ、併せてご覧ください。

ぜひお試しください!!

お客様評価機貸出サービス
DYNASERV「DR5H00」モータのお客様評価機をご用意しております。

お客様の環境下で、ぜひ評価してください。

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DYNASERVの実力をお客様の目の前でご覧いただけます。

高精度な位置決め・高剛性(高いサーボ剛性)といったDYNASERVならではの特長をご覧いただくことができます

モータの選定をいたします!!

お客様の装置に最適なモータをYOKOGAWAが選定いたします。

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