液晶製造装置向け
大型X-Yステージ
大型X-Yステージ

TandemThroughStage
液晶パネル製造工程を一新する次世代プラットフォーム「タンデムスルーステージ」を開発しました。
第8世代マザーガラス基板に対応した大型XYステージに、ガラス基板の搬送機能も標準装備しています。液晶製造装置と搬送ロボットの一体化を実現し、製造ライン全体の生産性向上に貢献します。
BridgeStage
第8世代ガラス基板に対応したLCD(液晶ディスプレイ)PDP(プラズマ)製造装置用プラットフォームです。構造解析による最適構造設計で石定盤を使わず短納期、DDリニアモータを高度に制御します。コータ、デベロッパー、検査、リペア装置にふさわしいX-Yステージです。
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