2007年11月2日発表

　横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市 代表取締役社長：海堀 周造）は、波長範囲1.2～2.4μm（マイクロメートル）のレーザの光スペクトラムを高い波長分解能で高速に測定できる分散分光方式の光スペクトラムアナライザ※1「AQ6375」を開発、11月15日から販売を開始します。

　「AQ6375」は、各種光デバイスの波長成分を分解し、波長特性を測定する光スペクトラムアナライザの新製品です。主に環境計測分野で用いられる2μm帯の近赤外半導体レーザの光スペクトラムを高分解能かつ高速に測定でき、近赤外半導体レーザの性能向上や普及に貢献します。

　当社は、本製品を2007年11月7日から東京ビックサイトで開催される「計測展2007東京」に出展し、同会場で行われるテクニカルセミナーで紹介します。

開発の背景
　近年、地球環境問題がクローズアップされ、温室効果ガス削減の取り組みが本格化し始めています。温室効果ガスとしてCO2がよく取り上げられますが、それ以外にも地球環境を悪化させるガス（気体分子）として、二酸化硫黄（SO2）や二酸化窒素（NO2）などがあります。
　これらの微量な気体分子を検出する方法としてレーザ吸収分光法※２が注目され、盛んに開発が進められています。レーザ吸収分光法では、波長2μm帯の近赤外レーザの発光スペクトラムを測定するために分光器を用いた大掛かりな測定システムが一般的に使用されていました。
　しかし、測定分解能、測定スピード、操作性、メンテナンス性などに課題があり、小型で高性能な光スペクトラムアナライザの実現が望まれていました。
　「AQ6375」は、当社がこれまで培ってきた通信波長域の光スペクトラム測定技術を基に、近赤外レーザの波長域にも対応できるようにした製品です。

新製品の特長

1. 広い近赤外測定波長範囲
   　波長範囲1.2～2.4μmに対応していますので、レーザ吸収分光の波長域のみではなく、通信波長域（1.31～1.55μm）もカバーしています。半導体レーザだけではなく、SC（Super Continuum）光源※3の超広帯域スペクトラムの測定にも適しています。



2. 高い波長分解能と測定感度
   　「AQ6375」は、従来の単体の分光器を用いた測定システムに比べ高い波長分解能(最高　分解能0.05nm)備えています。光スペクトラムの最小受光感度－70dBmと、半導体レーザから出力される自然放出光なども高い信号対雑音比（S/N比）で測定することができます。
   　また、波長分解能を0.05nmから2.0nmまで任意に設定することができ、広帯域光源との組合せにより、光デバイスの波長特性測定にも使用できます。



3. 高速測定と高い操作性・メンテナンス性
   　当社独自技術により、0.1μmの波長範囲を1秒以下で測定できます。また、操作性・メンテナンス性にも優れ、快適な測定環境を提供します。

【　主な対象ユーザ　】
光半導体デバイスメーカ、光モジュールメーカなど

【　主な用途　】
半導体レーザの発光スペクトラム評価、光デバイスの波長特性評価など

【　販売目標　】（海外での販売を含む）
2007年度　　3億円
2008年度 　15億円

以上

※1　分散分光方式光スペクトラムアナライザ
分散分光方式は広範囲の波長の光をプリズムなどで分散させ、そのうちの狭い範囲の波長だけをスリットなどを通して取り出す方式。光スペクトルアナライザは、その光の波長成分を波長ごとに分け、分布を測定する計測器。

※2　レーザ吸収分光法
ある分子にレーザ光を当てたとき、分子の種別によって特定の波長の光を吸収することを利用し、光スペクトラムを分析して、その分子の量を測定する方法

※3　SC光源
高エネルギーの短パルスレーザ光を特殊な光ファイバに通すことでスペクトルが拡がる現象を利用した広帯域光源

詳細は、こちら