2006年4月プレスリリース

2006年4月11日発表

高速・高トルクDDモータ用駆動ドライバ
「インテリジェントドライバDrvGⅢ4kW」と「インテリジェントドライバDrvPⅢ4kW」
発売のお知らせ

　横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市　代表取締役社長：内田　勲）は、半導体製造装置などの機械可動部に組み込まれるダイレクト・ドライブ・モータ（DDモータ）用駆動ドライバ、「インテリジェントドライバDrvGⅢ（ドライブジースリー）」と「インテリジェントドライバDrvPⅢ（ドライブピースリー）」の両シリーズに、ハイパワーモーター駆動用の「DrvGⅢ 4kW」、「DrvPⅢ 4kW」を追加、4月12日から販売を開始しますので、お知らせします。
　当社は、この製品を4月19日から21日まで幕張メッセで開催される「モーション・エンジニアリング展」に出品します。

開発の背景

DDモータとその駆動用ドライバは、半導体製造装置や電子部品製造装置の可動部を動かすために装置に組み込まれます。これらの装置はスペースに制約のあるクリーンルームで使用されることが多いため小型化が要求され、組み込まれる駆動用ドライバも、出来るだけ小形であることが望まれます。
また、これらの装置は日本メーカが世界的に優位であるため、輸出機会が以前にも増して多くなってきており、各国の安全規格への対応が求められています。
DrvGⅢシリーズとDrvPⅢシリーズは、このような要求を踏まえ、小型化や制御性能、操作性の向上を追求するとともに、各種安全規格への対応をコンセプトにした製品シリーズです。
「DrvGⅢ 4kW」と「DrvPⅢ 4kW」は、高速、高トルクのハイパワーモータを動かす製品であり、今回の発売で標準モータ用から高速・高トルクモータ用までシリーズのラインアップが揃いました。

新製品の特長

１．小形化
	従来機種に比べ、サイズ・質量とも2分の1に小形化しました。クリーンルームで使用する装置など、小形化が要求される装置への組み込みに最適です。
２．海外の安全規格に準拠
	「DrvGⅢ 4kW」と「DrvPⅢ 4kW」は、標準でCEマーク、UL規格に対応します。 ※CEマーク・UL規格：機械・器具の安全性に関する規格。CEはEU域内、ULは米国とカナダの規格。
３．制御性能・操作性の追求
	位置制御の分解能を当社従来製品比2倍に高め、より高精度な位置決めを可能にしました。高速域でのトルク／速度特性を大幅に改善、整定時間もさらに短縮しました。また、モータの動きを簡単な操作で詳細に把握でき、サーボ調整に便利な、使いやすいWindowsソフトウエアを用意し、操作性を向上させました。 ※整定時間：PLCなどの上位コントローラの指令を受け終ってから、実際にモータの位置決めが完了するまでに要する時間

【主な市場】
半導体製造装置、液晶製造装置、液晶検査装置、印刷、太陽電池などのメーカ

【　用　途　】
各種機械・装置の駆動部に組み込まれるDDモータの駆動用ドライバ

【販売目標】
2006年度　　　 600台　　
2007年度　　 1,000台

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以上