2005年12月プレスリリース

2005年12月2日発表

業界初のツーインワンシステムを採用しメモリテストの大幅な効率向上を実現させる
「MT6121 メモリテストシステム」開発、発売のお知らせ

横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市　代表取締役社長：内田　勲）は、DRAMおよびNAND型／NOR型フラッシュメモリの前工程テストから後工程テストまで1台で対応する「MT6121 メモリテストシステム（以下MT6121）」を開発し、販売を開始します。

「MT6121」は、当社従来製品AL6050/MT6060メモリテストシステムの後継機で、ユーザのTCO（Total Cost of Ownership）削減と、検査効率の大幅な向上をめざして開発された新製品です。本体に接続した2台のテストヘッドをそれぞれ個別に動作できるようにしたツーインワンシステムを業界で初めて採用し、ユーザのテスト効率を飛躍的に向上させました。さらに、当社従来製品比2.8倍の高速データ転送/高周波環境でデバイステストが可能になったため、本機1台でDRAMやフラッシュメモリのウェハテストはもとより、パッケージテストまで適用可能になりました。
当社は、この新製品を12月7日から幕張メッセで開催される“セミコンジャパン2005”に出品します。

開発の背景　

メモリデバイスは、従来のパソコンからデジタル家電、携帯機器などへと用途が拡大するとともに、大容量化が進んでいます。
特に携帯電話や携帯音楽プレーヤなどの用途では、種類の違うチップを多層化することによって大容量化・多機能化を進めており、デバイスメーカがチップの状態でユーザに供給するケースが増えています。その際デバイスメーカはチップの状態で品質保証（KGD*）するために、メモリデバイスが最終製品で使用されるときと同じ高速データ転送/高周波環境で、ウェハを検査したいというニーズが大きくなってきています。
一方メモリデバイスは、価格競争激化と大容量化が同時進行しているため、1ビットあたりの価格が下落し続けており、デバイスメーカは一層のコスト削減、生産性向上を迫られています。
　当社はこのような市場動向やユーザニーズをふまえ、適用範囲を拡大し、かつデバイスメーカのTCO削減と検査工程の大幅な効率向上を実現する「MT6121」を市場に投入するものです。

* KGD：Known Good Dieの略。デバイスメーカがチップの状態で製品の品質を保証し、
　　　　最終ユーザに納入すること、またはその製品。

製品の特長

１．	業界初のツーインワンシステムを採用従来、テストヘッドを2台接続して使うときは、2台とも同じ試験を行う必要がありましたが、「MT6121」ではテストヘッド2台が別々の試験を行えます。例えば、一方のテストヘッドでDRAMをテストしながら、もう一方でフラッシュメモリのテストを行うことが可能です。また、片方のテストヘッドがロット交換中であったり、修理中であったりする場合にも、もう一方のテストヘッドでテストの継続が可能です。その結果、導入したテスタの運用効率を向上させました。
２．	高速・高周波対応最高動作周波数とデータ転送速度を、それぞれ当社従来製品比2.8倍の280メガヘルツと560メガビット/秒としました。このため、デバイスメーカが要望するチップレベルでの品質保証（KGD）テストやパッケージテストに適用可能です。
３．	テスト工程の生産性向上に大きく貢献同時測定個数が、従来製品比2倍の1024個になりました。また、テスタ本体のフロア占有面積を従来製品と比較して60%に圧縮しました。この結果、検査時のスループットを大幅に向上できるとともに、検査工程の省スペース化を実現します。

【主な仕様　】
　最高動作周波数：280メガヘルツ
　データ転送速度：560メガビット/秒
　同時測定個数　：最大1024個（テストヘッド2台使用時）
　　　　　　　　　
【　主な市場　】
　メモリデバイスメーカ

【　用　途　】
DRAM、NAND 型／NOR型フラッシュ、PSRAM、SRAMなど
メモリデバイスのウェハテスト、KGDテスト、パッケージテスト

【　販売目標　】
　2006年　200台　

以上

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