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YOKOGAWA

横河電機株式会社

2005年11月プレスリリース

2005年11月30日発表


イメージセンサテストシステムUltraEye(ウルトラアイ)シリーズに新製品2機種をラインアップ
「UE600-16 CISテストシステム」/「UE660 CCDテストシステム」


  横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市 代表取締役社長:内田 勲)は、イメージセンサ向けテストシステムUltraEye(ウルトラアイ)シリーズに新製品2機種を追加し、12月1日から同時に販売を開始しますので、お知らせします。

  イメージセンサテストシステムは、基準となる光を測定対象のCCD/CIS(CMOS Image Sensor)に当て、その撮影画像を解析することで、欠陥を検出したり、良否チェックしたりするものです。
今回発売するモデルは、「UE600-16 CISテストシステム(以下UE600-16)」と、「UE660 CCDテストシステム(以下UE660)」の2機種です。「UE600-16」は、CISの画質検査とその周辺のデジタル回路の検査に用いる高スループット(処理能力)モデルで、当社従来製品比2倍となる16個のCISを同時に測定できます。一方、「UE660」は、CCDの画質検査に機能を特化することで小型化し、購入しやすい価格設定にした機種です。

 当社は、これらの新製品を12月7日から幕張メッセで開催される“セミコンジャパン2005”に出品する予定です。

開発の背景 
  カメラ付き携帯電話やデジタルカメラ、ビデオカメラなどの急速な普及により、CCD/CISの需要は年々増加しています。またこれらの製品の解像度向上に伴い、CCD/CISの画素数も多くなってきています。イメージセンサはそのテスト工程で、画素全てを検査する必要があるため、画素数の増大に比例して検査に必要な時間が長くなり、検査コストが増加する傾向にあります。一方、最終製品の価格競争激化により、CCD/CISの低価格化が進んでおり、半導体メーカからは、今まで以上にコスト削減、生産性向上に寄与するCCD/CISテスタが求められるようになっています。
  このような市場動向、ユーザニーズに対応するため、当社はCIS専用で同時測定デバイス数を従来比2倍の16個にし、スループットを向上した「UE600-16」と、CCD専用で小型化しコストパフォーマンスのよい「UE660」を開発し、市場に投入するものです。

UltraEyeシリーズの概要 
  UltraEyeシリーズの「UE600-16」と「UE660」は、自社開発した高性能画質検査エンジン(PowerEye:パワーアイ)を搭載しています。このため、イメージセンサの点欠陥、線欠陥に加えて、従来は目視に頼っていたシミ、ムラなどの検査項目を自動化することができ、イメージセンサの検査の効率を大幅に向上します。
また従来は、テスト対象変更時に画質検査プログラムを変更する際に、プログラムの開発、評価、調整の作業を、テスタ本体を占用して行っていました。しかし、PowerEyeのオフラインシミュレータ機能を用いることで、プログラムをパソコン上で簡単に開発し、調整することができます。

「UE600-16」 の特長 
  デバイスの同時測定個数を従来比2倍の16個にするとともに、デバイス1個あたりの検査時間を従来よりも20%短縮しました。その結果、世界最高レベルのスループット(従来比2.5倍)を実現し、大幅なテストコスト削減に寄与します。

「UE660」 の特長 
  従来機では、テストヘッド部とその電源供給部をテスタに隣接して設置する必要がありましたが、UE660ではCCDの画質検査に必要な機能を1枚の専用プリント基板に集約しプローバに接続することで、大掛かりなテストヘッド部が不要な構成としました。その結果、大幅な低コスト化を実現すると同時に、従来比1/2の設置面積を実現したことで、クリーンルームでの占有面積を縮小し、生産ライン全体を大幅に効率化します。

【 主な市場 】
  半導体デバイス(イメージセンサ)メーカ

【 用 途 】
  CCD/CISの前工程および後工程で画質欠陥や電気特性の検査に使用

【 販売目標(海外での販売を含む) 】
    UE600-16 2005年度 20台   2006年度 100台
  UE660    2005年度  20台   2006年度 100台


以上

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