2005年11月24日発表

  横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市　代表取締役社長：内田　勲）は、液晶パネル製造装置の次世代プラットフォームとして「タンデムスルーステージ」を開発しましたので、お知らせします。

  「タンデムスルーステージ」は、第8世代マザーガラス基板に対応し、液晶パネル製造装置のプラットフォーム（ガラス基板を乗せる台座とX軸/Y軸方向の門型稼動部）としての機能を持っています。乾燥や塗布などの装置を本装置の上に取り付けるだけで、液晶パネルの各製造工程の共通プラットフォームとして使うことができます。従来は各製造装置メーカが、装置ごとに個別のガラス基板位置決めステージを作り込んでいました。
  また、本装置は液晶製造装置と搬送ロボットの機能の一体化を実現しました。これによって、液晶パネル製造ライン全体の大幅な生産性向上に貢献します。

  当社はこの試作機を、12月7日から幕張メッセで開催される“セミコンジャパン2005”に出品する予定で、来年度の製品化に向けて市場調査を本格的に開始します。

 開発の背景
  大型液晶テレビの本格普及期を迎え、液晶パネルメーカは市場拡大に伴う需要急増と価格競争激化に対応するため、生産性を高める必要があります。その対応策として各社は、マザーガラス基板の大型化により、コスト削減と付加価値の高い大型テレビ向け液晶パネルの量産を進めようとしています。2006年秋には、第8世代（2,160ミリメートル×2,400ミリメートル）のマザーガラス基板対応の液晶パネル工場が稼動する予定です。
  液晶パネル工場ではマザーガラス基板の大型化に伴い、各工程の製造装置と各工程間の搬送装置が大型化し、それらを収容するクリーンルームも大型化しています。そのため液晶パネルメーカでは、個々の製造装置の省スペース化や製造ライン全体の効率化、クリーンルームの小型化に寄与するブレークスルーが望まれています。
  当社は、このような市場ニーズに対応するため、液晶パネル製造工程の新たなソリューション「タンデムスルーステージ」を提案します。

試作機の概要　
  「タンデムスルーステージ」は第8世代マザーガラス基板に対応し、液晶パネル製造装置に使用されるXYステージとしての機能と、液晶パネルの搬送機能を併せ持ちます。自社製品のダイレクトドライブモータ（LINEARSERV：リニアサーブ）とインテリジェントドライバ（DrvGⅢ：ドライブジースリー）を搭載し、位置決め精度±0.25マイクロメートルを実現しました。検査やリペアのような精密な位置決め精度が必要な工程に使用できます。

今後のビジネス展開　
　当社は、この試作機を12月7日から幕張メッセで開催される“セミコンジャパン2005”に出品する予定です。市場調査を本格的に行い、液晶パネルメーカや液晶製造装置メーカと協力しながら、来年度の製品化をめざします。
  当社は、今後も計測・制御・情報のコア技術を駆使することで、液晶パネル製造装置の多機能化、省スペース化、さらに製造ライン全体の生産性向上に貢献する提案を進めていきます。

以上

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