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YOKOGAWA

横河電機株式会社

2005年8月プレスリリース


レンジフリーコントローラ「FA-M3R」のラインアップに
各種装置の省配線化・高速化を実現する「YHLSスレーブユニット」を追加


  横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市 代表取締役社長:内田 勲)は、半導体・ 液晶製造装置や、電子部品・電子機器組み立て装置などへの組み込み用制御装置「FA-M3R(エフエー エムスリーアール)」の「YHLS* スレーブユニット」7種を本日から発売しますので、お知らせします。「YHLSスレーブユニット」と2月に発売した「YHLSマスタモジュール」を組み合わせて使用することにより、半導体・液晶製造装置や電子部品組み立て装置などの省配線化・高速化・高機能化を実現できます。
*YHLSについて:Yokogawa Hi-speed Link System(ヨコガワ ハイスピード リンク システム)の略。当社が提唱する装置制御用の通信方式で、最高12メガビット/秒の通信が可能。通常のLANと同じケーブルとモジュラージャック(RJ-45)を採用しており、汎用性が高い。

 開発の背景 
 レンジフリーコントローラ「FA-M3R」は、いわゆるプログラマブル・コントローラ(PLC)に分類される製品で、半導体/液晶製造装置や電子部品組み立て装置など、各種機械・装置に組み込まれるコントローラとして使用されます。半導体や液晶など最終製品の高機能化や低価格化が加速しており、これらの製造装置にも、さらなる高速化・高機能化・低価格化が必要とされています。それをコントロールするPLCにも、配線時間の短縮や修理費用削減のために配線を減らしたい、かつ高速化、コスト低減を実現する高い性能を実現してほしい、という要求が大きくなっています。
 当社は、このようなユーザニーズに応えるために、各種自動機械・装置の高速化・高精度化・省配線化を実現するオープン規格「YHLS」を開発し、ユーザの生産性向上を支援します。

 YHLSスレーブユニットの特長 
  「YHLSスレーブユニット」は、今年2月発売の「YHLSマスタモジュール」と、装置内の各所に設置されるセンサやアクチュエータ(駆動部)の間に設置することで、入出力信号をやりとりし、各種装置の配線数を減らせます。入力と出力の個別対応や入出力双方の対応、接続できるセンサやアクチュエータの数などに応じて、7種類あります。「YHLSマスタモジュール」と「YHLSスレーブユニット」間の通信速度は、業界最速の12メガビット/秒です(当社従来比約50倍)。
  「YHLSマスタモジュール」に「YHLSスレーブユニット」を最大32局接続することが可能で、センサやアクチュエータからの入出力信号を1ミリ/秒以下で伝送できます。
  この結果、PLCが制御に要する時間を大幅に短縮することができ、各種製造装置の省配線化・高速化・高機能化に貢献します。
  通常のLANケーブルでモジュール間の接続ができますので、汎用性が高く扱いやすくなっています。また、国際半導体製造装置材料協会(SEMI)の標準バス(ネットワーク)の規格に準拠しています。

 F A-M3Rについて 
  当社は’89年9月、中~大規模機種としてプログラマブル・コントローラ「FA500」を発表、これを機にプログラマブル・コントローラ(PLC)市場に参入しました。’92年12月には小規模から大規模までカバーするレンジフリーコントローラ「FA-M3」を発表、「速い」「小さい」「賢い」という特長を武器に、急速にシェアを伸ばしてきました。
  ’99年10月には高速のシーケンスCPUを搭載した「FA-M3R」を発売、機能を強化した新モジュールを継続的に投入することにより、さらなるシェア拡大を狙っています。

【 主な市場 】
  半導体・液晶製造装置、電子部品・電子機器組み立て装置、
    チップマウンタ、プラスチック加工機など、各種の自動機械メーカ

【 用 途 】
  各種自動機械・装置に組み込まれるコントローラとして使用

【 販売目標 】(FA-M3Rシリーズ全体で)
  2005年度  100,000セット  2006年度  105,000セット

以上
 
詳細は、こちら