2004年11月19日発表

  横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2－9－32　社長：内田　勲　　資本金：323億600万円）は、需要が急増しているCCD/CIS（CMOS Image Sensor）向けにLSIテストシステム2モデルを新たに開発、12月1日から同時に販売を開始しますので、お知らせします。

  今回発売するモデルは、CIS向けに特化してスループットを4倍に向上させた「UltraEye CISテストシステム」と　イメージセンサテストシステムとしてベストセラーとなっているTS6600シリーズの最新機種で、CCD/CIS兼用の「TS6650 CCD/CISテストシステム」です。

開発の背景

　カメラ付携帯電話やデジタルスチルカメラの急速な普及に伴い、CCD/CISの需要が急増しています。両方合わせた2004年の市場規模は、2001年に比べて3倍以上に伸びています。また、イメージセンサの高精細化も進んでおり、LSIテスタによる検査対象総画素数は、前年度比2倍に増えました。このため、検査に要する時間が増え、デバイスの生産コストに占める検査コストの増大を招いています。
  CCDでは、用途の広がりとともに、多画素、高速、動画機能といった多機能化が進んでいます。このような多機能CCDを高速かつ効率良くテストするため、従来以上に高速・多チャネルのテストシステムが求められています。
  一方、携帯機器に適した低消費電力のCISは特に需要の伸びが著しく、2004年は個数でCCDを上回ると見られています。増産に対応するために、より高速なテストシステムが必要とされています。また、イメージセンサの高画質化に対応するため、従来は難しかったシミ、ムラ、色ムラなどの検査の必要性も高まっています。
  このような市場ニーズにこたえるため、CISに特化して高速テストを実現したコストパフォーマンスの高いモデル「UltraEye CISテストシステム」と、従来の「TS6600シリーズ」を発展させ、多機能CCDの検査を高速かつ精度良く行なえる高機能モデル「TS6650 CCD/CISテストシステム」を開発しました。

 

UltraEye CISテストシステム　
　

１．		世界最高のスループット ベストセラーSOCテストシステム「TS6000」をプラットフォームとし、ロジック回路中心のCISに特化することで、世界最高のスループットを実現しました。（当社従来製品比4倍）
２．		業界初の欠陥検出アルゴリズム 当社のディスプレイ欠陥検査技術を応用して、従来困難だった点欠陥、線欠陥、シミ、ムラなどを高精度に検出する欠陥検出アルゴリズムを業界で初めて搭載しました。
３．		品種切り替えにも柔軟に対応 検査する品種が変わり、欠陥検出アルゴリズムを変更する場合でも、画質検査オフラインシミュレータにより、エンジニアがパソコンで簡単に検出アルゴリズムを開発したり、チューニングを行なうことができます。

TS6650 CCD/CISテストシステムの特長

１．		テストスループット2倍 画像処理を並列化、多重化することで、テスト時間の大幅短縮を実現しました。スループットは当社従来製品に比べ2倍です。
２．		当社従来製品との互換性 ハードウエア、ソフトウエアとも当社従来製品との完全互換性を有しており、既存のテストシステムへの増設オプションとしても対応できます。
３．		多機能CCDの完全パラレルテストを実現　 通常、テスト効率を上げるために複数デバイスの並列テストを行ないますが、同測個数が増えるとテスト時間が増大し、十分な効果が出ません。 TS6650では、複数デバイスのテストを完全並列動作させることで、同測デバイス数に依存しないテスト能力を実現しました。

【　主な市場　】
　 イメージセンサ半導体デバイスメーカ

【　用　    途　】
　 CCD／CISの前工程および後工程で画質欠陥や電気特性の検査に使用

【　販売目標　】
  ・TS6650 CCD/CISテストシステム　　2004年度　 50台
　　　　　　　　　　　　　　　　　　            　  2005年度　100台
　・UltraEye CISテストシステム　　　  　2004年度　  20台
　　　　　　　　　　　　　　　　　　　              2005年度　100台

　以上

 

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