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YOKOGAWA

横河電機株式会社

2004年4月プレスリリース

2004年4月20日発表

横河電機株式会社

小形・高機能のDDモータ駆動用ドライバ「インテリジェントドライバDrvPⅢ」開発・発売のお知らせ



 横河電機株式会社(本社:東京都武蔵野市中町2-9-32 社長:内田 勲  資本金:323億600万円)は、半導体製造装置などの機械駆動用に組み込まれるダイレクト・ドライブ・モータ(DDモータ)をコントロールする「インテリジェントドライバDrvPⅢ(ドライブピースリー)」を開発し、CC-Link対応型は6月から、PROFIBUS DP対応型は9月から、それぞれ販売を開始しますのでお知らせします。
 「DrvPⅢ」は、現行機種「DrvGⅢ」をベースに簡易コントローラ機能を内蔵し、CC-Link・PROFIBUS DPインターフェースを搭載しています。当社が販売しているすべてのDDモータ、位置決めステージと組み合わせて使用することができます。

開発の背景 

 半導体製造装置や電子部品関連製造装置は、スペースに制約のあるクリーンルームで使用されることが多いため、装置の小形化を要求されます。また、生産性をあげるために、スループットを向上させることも重要です。さらに、これらの装置は日本メーカが世界的に優位であるため、間接的な輸出機会が以前にも増して多くなってきており、各国で機械・装置に対して要求される安全規格への対応が求められています。
 「DrvPⅢ」は、このような市場要求に応えるために開発した新製品です。

製品の特長
  1. 小形化
    従来機種と体積比で2分の1(2kW仕様品)から3分の2(500W仕様品)の小形化に成功しました。クリーンルームで使用される装置など、小形化が要求される装置への組み込みで効果を発揮します。

  2. 海外の安全規格に準拠
    従来機種では、オプションでCEマークに対応していましたが、「DrvPⅢ」は全機種でCEマーク*、UL規格*に標準対応します。
    ※CEマーク・UL規格:機械・器具の安全性に関する規格。CEはEU域内、ULは米国とカナダの規格。

  3. 整定時間*の短縮
    位置制御のための位置情報のサンプリング周期を早めることで、整定に要する時間を50%短縮しました。これにより、「DrvPⅢ」 とDDモータが組み込まれる装置のスループットが向上します。
    ※整定時間:PLCなどの上位コントローラの指令を受け終ってから、実際にモータの位置決めが完了 するまでに要する時間

  4. 省配線
    CC-Link・PROFIBUS DPインターフェースに対応したことで、省配線のシステム構築が可能になりました。
【 主な市場 】
  半導体デバイス、半導体製造装置、液晶製造装置、印刷、電子部品関連製造装置などのメーカ
【  用   途  】
各種機械・装置の駆動部に組み込まれるDDMの駆動を行うドライバ
【 販売目標 】
  2004年度    3,000台
  2005年度   10,000台
以上

本製品に関するお客様からのお問い合わせ、資料請求先:
  ヒューマンテクノロジー事業部DDMセンターCS部
  TEL:0422‐52‐1283 FAX:0422‐52‐1284