2003年10月プレスリリース

2003年10月9日発表

小型・高機能のDDモータ駆動用ドライバ
「インテリジェントドライバDrvGⅢ」開発・発売のお知らせ

横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2－9－32　社長：内田　勲　　資本金：323億600万円）は、半導体製造装置などの機械駆動用に組み込まれるダイレクト・ドライブ・モータ（DDモータ）をコントロールする「インテリジェントドライバDrvGⅢ（ドライブジースリー）」を開発、10月22日から販売を開始しますので、お知らせします。

「DrvGⅢ」は、現行機種「DrvGⅡ」を小型、高機能化したほか、直接・間接輸出機会の増大に対応するため、従来のCE^※1規格対応に加えてUL^※1規格にも対応した製品です。当社が販売しているすべてのDDモータ、位置決めステージを組み合わせて使用することができます。

※1

CE規格・UL規格：機械・器具の安全性に関する規格。CEはEU域内、ULは米国とカナダの規格。

開発の背景

　半導体製造や電子部品関連製造装置などは、スペースに限界のあるクリーンルームで使用されることが多いため、装置の小型化が要求されます。また、生産性をあげるために、スループットを向上させることが重要です。
さらに、これらの装置は日本メーカが世界的に優位であるため、間接的な輸出機会が以前にも増して多くなってきています。このため、各国で機械・装置に要求される安全規格への対応が求められています。
　「DrvGⅢ」は、このような市場要求に応えるために開発したものです。

製品の特長
１．小型化
	従来機種と体積比で2分の1から3分の1の小型化に成功しました。クリーンルームで使用される装置など、小型化が要求される装置への組み込みで効果を発揮します。

２．海外の安全規格に準拠
	従来機種では、オプションでCE規格に対応していましたが、「DrvGⅢ」は全機種でCE、UL規格に対応します。

３．整定時間^※2の短縮
	位置制御のための位置情報のサンプリング周期を早めることで、整定に要する時間を50％短縮しました。これにより、「DrvGⅢ」とDDモータが組み込まれる装置のスループットが向上します。

※２

整定時間：PLCなどの上位コントローラの指令を受け終ってから実際にモータの位置決めが完了するまでに要する時間

４．操作性向上
	DDモータの応答特性を決める様々なパラメータの設定を自動で行うオートチューニング機能を搭載しました。また、無償のパソコン用サポートツールは、パラメータのバックアップ、ダウンロード機能などのほか、パソコン上でオシロスコープ機能を持っており、チューニングや運転状況の検証などに役立ちます。

【　主な市場　】
	半導体デバイス、半導体製造装置、液晶製造装置、印刷、電子部品関連製造装置などのメーカ

【　用途　】
	各種機械・装置の駆動部に組み込まれるDDMの駆動を行うドライバ

【　販売目標　】
	2003年度	1,000	台
	2004年度	10,000	台

以　上

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本製品に関するお問い合わせ・資料請求先：　　　　　　　　　　　　　
　ATE第2事業部DDMセンター
　TEL：0422‐52‐1283　FAX：0422‐52‐1284
　メールアドレス：ddm-sales@csv.yokogawa.co.jp