2003年1月プレスリリース

2003年1月21日発表

独自方式で高推力を実現した大型高精度XYステージ
連結同期式の「高推力門型XYリニアモータステージ」を開発・発売のお知らせ

　横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2－9－32　社長：内田　勲　資本金：323億600万円）は、液晶パネルやプラズマディスプレイパネル（PDP）などのフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置組み込み用に、当社従来製品の3倍の推力を持つ連結同期式の「高推力門型XYリニアモータステージ」を開発、本日から販売を開始しますので、お知らせします。　（※　門型：上軸が門型になったステージ構造）

開発の背景

　FPDは、製造技術の急速な進歩に伴い、大型化が進んでいます。FPDのベースとなるガラス基板の大きさは、最も大型のもので長辺が1.8mにも達します。このような大型の対象物に対応するため、当社は、基板の大型化に伴う長いストロークと、微細加工に耐える高精度を併せ持つ大型XYステージ「マイクロステージ・シリーズ」を昨年12月に発売しました。
　これだけ大きなガラス基板を加工、検査するには、ガラス基板を動かすのではなく、XYステージの稼動部に取り付けた検査用カメラや加工用レーザなどの装置側を動かします。これらの装置もより大型のものをつける事ができれば、加工、検査時間の短縮や検査精度の向上が図れます。このため、XYステージには、より重いものを動かすことのできる高推力も要求されるようになっています。
　しかし、推力をあげるためにモータを大型化するとヘッド部の作業エリアを狭める結果となります。また、一つのモータが片持ち構造の軸を駆動すると、軸にモーメント力が働いて、動作時に振動が大きくなる問題があります。そこで、複数のリニアモータを門型ステージ構成で同期させて駆動するという、まったく新しい発想で大型・高推力を両立させたのが、今回の製品です。

製品の特長

１．大型・高精度と高推力を両立

同一ガイドレール上で複数のリニアモータを分散同期駆動（パラレル駆動）することで、作業エリアを狭めることなく大推力を実現しました。

推　　　　　　　力	：	400N（ニュートン）×台数（左右各4台まで）
稼　搬　重　量	：	200Kg　→　今回製品　600Kg
XYストローク長	：	3m（従来製品と同等。　　　　　ボールねじ＋ACサーボモータ式は1m）
停止位置再現性	：	0.1μm　（ボールねじ＋ACサーボモータ式は1μm）
速　　　　　　　度	：	2m/s　（同：1m/s）

２．高精度を実現する自社開発技術

YOKOGAWAグループの計測・制御に関する長年のノウハウ、光デバイス技術、制御技術、高精度加工技術を活かした光学式高精度位置センサやデジタルPID制御方式などを採用しています。

３．ソリューション提案の専任組織

お客様が必要とする機能にあった最適な仕様を、専任の組織（ソリューションGr.）が提案します。また、装置の開発段階から参画することで、装置の低コスト化と開発TAT（Turn Around Time）の短縮も実現します。

【　主な市場　】
	主として半導体、FPD製造装置

【　用　途　】
	半導体、FPD製造装置などに組み込み、基板の搬送や位置決めに使用

【　販売目標　】
	2002年度	300	台
	2005年度	1000	台

この分野における当社の取り組み

　横河電機では、1985年から社内の製造ライン用に組立用ロボットの開発に乗り出しましたが、この時にロボットアームの駆動源として開発されたのが、後に製品化されたDD（ダイレクトドライブ）モータ「Dynaserv（ダイナサーブ）」でした。その後、1987年にＤＤモータ単体の製造販売をビジネス化。1995年には、それまで培ったＤＤの技術を、回転から直線駆動に展開し、「Linearserv（リニアサーブ）」を開発、さらに2000年には回転・直線運動から面運動のモータ開発へと進めてきました。
　 2001年からは、開発を横河電機、販売を横河エム・エー・ティーという体制を取り、技術開発の一層の促進を図っています。今回の製品は、永年積み重ねてきた技術、ノウハウをベースに、さらに高度化した製品で、最先端の加工装置におけるキーコンポーネントとなると考えています。

以　上

製品に関するお問い合わせ
　横河エム・エー・ティー株式会社
　TEL：0422－52－6469　　FAX：0422－52－6462