2002年12月2日
報道関係各位
「PLANESERV（プレーンサーブ）」新製品を開発・発売のお知らせ
横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2−9−32 社長：内田 勲 資本金：323億600万円）は、2000年10月に発売した平面サーボモータ「PLANESERVシリーズ」に、さらに大型化、高機能化した新製品をあらたに追加、本日から販売を開始しますので、お知らせします。
平面サーボモータ「PLANESERV」は、半導体製造装置など各種製造装置に組み込む精密位置決めステージで、可動部を空気浮上式にした画期的な精密ステージです。開発の背景
精密ステージは、半導体製造装置・液晶製造装置・レーザ加工装置やバイオ関連装置などの装置内で、ウェハ、ガラスや基板などを最適な位置に搬送、位置決めするための装置です。従来は、ACサーボモータとボールネジ（工作機械などで使用される送りネジ）を組み合わせたものや、リニアモータを使ったタイプが主流でした。
しかし、これらの方式は機構的に複雑なため、形状・自重が大きくなり、たわみで精度が悪化するなどナノメートルレベルの位置決めを行うには小型化の限界がありました。
一方、高集積化が進む半導体を初めとする最先端の製造現場では、ますます微細な加工技術が要求されています。それに従って、製造装置に組み込まれて位置決めを行う精密ステージにも、ナノメートルレベルの精密さが必要とされます。
平面サーボモータ「PLANESERV」は、可動部の位置測定に独自の半導体レーザ干渉計を用いるとともに、可動部を空気浮上させることで従来方式による精度の限界を超え、画期的な高精度を実現した製品です。2000年10月の発売以来、各種製造装置向けに多くの実績を重ねてきました。
今回は、「PLANESERV」のストロークを長くするとともに推力を向上させ、適用できるアプリケーションを広げました。また、干渉計の分解能を16倍上げることで、1.7ナノレベルの位置決め技術を開発しました。
製品の特長 次の特長により 顧客装置の開発ＴＡＴ（Turn Around Time）短縮 大型、高精度を実現します。
１．性能大幅アップ 従来に比べ、ストローク長を1．6倍、推力を2倍にしました。※（ ）内は従来
： 800ｍｍ×800mm （500mm×500ｍｍ） ： 150N（ニュートン）、300N （100N） ： 1．7nm（27ｎｍ） ： XY軸で0．1μｍ、θ軸で0．2角度秒 ２．高速応答 整定時間が20ms（整定幅1μm、位置制御帯域50Hz時）と高速なので、タクトタイムを短縮できます。
３．空気浮上式 機械的支持機構がないため、小型、軽量です。（従来比1／5）
【 主な市場 】 主として半導体、ＦＰＤ、PCB露光装置メーカ 【 用 途 】 露光装置などに組み込み、ウエハ、ガラス、プリント基板の搬送や位置決めに使用 【 販売目標 】 ２００２年度 台 ２００３年度 台 この分野における当社の取り組み
横河電機では、1985年から社内の製造ライン用に組立用ロボットの開発に乗り出しましたが、この時にロボットアームの駆動源として開発されたのが、後に製品化されたダイレクトドライブ（DD）モータ「Dynaserv（ダイナサーブ）」でした。その後、1987年にＤＤモータ単体の製造販売をビジネス化。1995年には、それまで培ったＤＤの技術を、回転から直線駆動に展開し、「Linearserv（リニアサーブ）」を開発、さらに2000年には回転・直線運動から面運動のモータ開発へと進めてきました。
2001年からは、開発を横河電機、販売を横河エム・エー・ティーという体制を取り、技術開発の一層の促進を図っています。今回、ラインアップを強化する「PLANESERV」は、独自の半導体レーザ干渉計を搭載し、空気浮上式により摩擦や機械的誤差から開放された画期的な製品であり、最先端の加工装置におけるキーコンポーネントになると考えています。以 上
製品に関するお問い合わせ・資料請求先
横河エム・エー・ティー株式会社
TEL：0422-52-6469 FAX：0422-52-6462
