2002年11月26日
報道関係各位

液晶製造装置などへの組み込み用小型プラスチック渦流量計に 大流量対応の新シリーズ「FM0107」開発・発売のお知らせ

　横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2‐9‐32 社長：内田 勲　資本金：323億600万円）は、各種装置などへの組み込み用小型プラスチック渦流量計のシリーズに、大流量対応の「FM0107」を追加、主としてOEM供給用として12月上旬から出荷開始しますので、お知らせします。
　「FM0107」は、小型プラスチック渦流量計としては、初めて最大250リットル／分を測定可能な大流量対応の製品です。

開発の背景

　小型プラスチック渦流量計シリーズは、各種工作機械、半導体製造装置、液晶製造装置など各種装置に組み込み、冷却水、洗浄水、薬液等の流量管理に用いられる小型低価格の流量センサです。
　半導体、液晶製造装置などでは、ごみ（パーティクル）や金属イオンを極端に嫌うため、この用途に用いられる流量センサは、プラスチック製が主流となっています。さらに、渦流量計は構造がシンプルで、半導体、液晶製造過程に禁物のパーティクルを発生する可動部がありません。
　他方、液晶製造装置向けでは、液晶の大型化が進んでおり、洗浄水の流量の増大により、大流量を測定できるセンサが必要になってきています。
　このため、プラスチック渦流量計で大流量を測定できる製品のニーズが高まっています。

※ 渦流量計

流体内に障害物を置くと、その下流側に左右交互に渦が発生し、その数が流量に比例するという物理現象を測定原理としています。

製品の特長

１	．	大流量測定対応
		樹脂一体成形の小型プラスチック渦流量計としては、初めて250リットル／分の大流量測定を可能にしました。
２	．	高感度＆耐振性
		渦流量計の原理を発明した当社ならではの耐振性を確保した独自の渦検出センサで、精度良く流量を測定します。
３	．	低価格
		渦発生体と流路を一体成形することで、低価格を実現しています。

【　主な市場　】
　半導体製造装置、液晶製造装置など各種製造装置メーカ

【　用　途　】
　純水、冷却水、洗浄水、薬液などの流量測定

【　販売目標　】
　　２００２年度　　１０００台
　　２００３年度　　３０００台

以　上

本製品に関するお問い合わせ・資料請求先
　横河電機株式会社　モーション＆メジャメント事業部　SSグループ
　TEL：0422−51−7991　FAX：0422−51−8299