2002年11月20日
報道関係各位
大型フラットパネルディスプレイ製造装置向け大型高精度XYステージ
「マイクロステージ・シリーズ」を開発・発売のお知らせ
横河電機株式会社（本社：東京都武蔵野市中町2−9−32 社長：内田 勲 資本金：323億600万円）は、液晶パネルやプラズマディスプレイパネル（PDP）などのフラットパネルディスプレイ（FPD）製造装置組み込み用に、長ストローク・高精度のXYステージ、「マイクロステージ・シリーズ」を開発しましたので、お知らせします。
発売は12月1日からで、販売は当社関連会社の横河エム・エー・ティーが担当します。
なお、ナノメータレベルの精度を追求した「ナノステージ・シリーズ」（平面サーボモータ：Planeserv）の大型化、高推力化、高分解能化シリーズも近日発売予定です。
開発の背景
FPDは、製造技術の急速な進歩に伴い、大型化が進んでいます。FPDのベースとなるガラス基板の大きさは、最も大型のもので長辺が1．8mにも達します。このため、これらを製造する装置に組み込んで基板を動かすステージにも、より大型の基板が扱えるストローク長（可動長）が必要です。
ステージには、大型化のニーズの一方で、動作精度の確保も要求されます。しかし、ストロークを長くするほど、停止位置再現性などの精度の確保が難しくなります。従来のボールねじ＋ACサーボモータ方式で大型ステージを作ると、FPD製造に要求されるマイクロメートル（μm）レベルの高精度を維持するためには、頻繁な基点調整などのメンテナンスが必要となります。
当社は、従来から自社開発の高精度エンコーダ搭載のリニアモータによるXYステージを販売してきました。これらの技術をさらに発展させ、大型化と高精度を両立させた上、メンテンナス頻度の軽減を実現したのが「マイクロステージ・シリーズ」です。
さらに、当社の回転型ＤＤモータ"Dynaserv（ダイナサーブ）"をXYステージに搭載すれば、より高精度なXYθステージとしても使用できます。
製品の特徴
１．大型化と高精度を両立 従来のボールねじ＋ACサーボモータ方式に比べ、ストローク長で3倍、速度で2倍を達成しています。精度についても、停止位置再現性で10倍を達成しています。
ＸＹストローク長 ： ３ｍ（標準的なボールねじ＋ACサーボモータ方式：１m） 停止位置再現性 ： ０．１μｍ （同：１μｍ） 速 度 ： ２ｍ／ｓ （同：１m／s） ２．高精度を実現する自社開発技術 YOKOGAWAグループの計測・制御に関する長年のノウハウ、光デバイス技術、制御技術、高精度加工技術を活かした光学式高精度位置センサやデジタルPID制御方式などを採用しています。 ３．ソリューション提案の専任組織 お客様が必要とする機能にあった最適な仕様を、専任の組織（ソリューションGr.）が提案します。また、装置の開発段階から参画することで、装置の低コスト化と開発TAT（Turn Around Time）の短縮も実現します。 【 主な市場 】
主として半導体、FPD製造装置【 用 途 】
半導体、FPD製造装置などに組み込み、基板の搬送や位置決めに使用【 販売目標 】
２００２年度 ３００台
２００５年度 １０００台この分野における当社の取り組み
横河電機では、1985年から社内の製造ライン用に組立用ロボットの開発に乗り出しましたが、この時にロボットアームの駆動源として開発されたのが、後に製品化されたDD（ダイレクトドライブ）モータ「Dynaserv（ダイナサーブ）」でした。その後、1987年にＤＤモータ単体の製造販売をビジネス化。1995年には、それまで培ったＤＤの技術を、回転から直線駆動に展開し、「Linearserv（リニアサーブ）」を開発、さらに2000年には回転・直線運動から面運動のモータ開発へと進めてきました。
2001年からは、開発を横河電機、販売を横河エム・エー・ティーという体制を取り、技術開発の一層の促進を図っています。今回の製品は、永年積み重ねてきた技術、ノウハウをベースに、さらに高度化した製品で、最先端の加工装置におけるキーコンポーネントとなると考えています。
以 上
製品に関するお問い合わせ・資料請求先
横河エム・エー・ティー株式会社
TEL：0422-52-6469 FAX：0422-52-6462
