２００１年４月６日
報道関係各位

「第47回（平成12年度）大河内記念技術賞」を受賞

　横河電機（本社：東京都武蔵野市中町2−9−32　社長：内田　勲　資本金：323億600万円）は、「マイクロ波誘導プラズマを用いた微粒子分析装置の開発」で、「第47回（平成12年度）大河内記念技術賞」を受賞しました。
　「大河内記念賞」は、財団法人大河内記念会が、わが国の生産工学、生産技術の研究開発、および高度生産方式の実施等に関する顕著な業績に対して毎年行っている表彰です。「大河内記念技術賞」は、個人または5名以内のグループを対象として、生産工学、生産技術の研究により得られた優れた発明または考案に基づく産業上の顕著な業績に対して贈られます。

今回開発した装置

　大気浮遊粉塵などの微粒子分析は、環境・公害・半導体製造分野等において欠かせない技術です。特に半導体製造分野では、高集積化が急速に進んでいるため、クリーンルームの浮遊粉塵の個数計測はもとより、その組成分析による発塵源の特定が重要な技術になっています。従来の電子顕微鏡を用いた微粒子計測では、粒子1個の組成分析は可能ですが、数千、数万個レベルの対応や性状評価ができず、実用に向いていませんでした。

　今回開発した装置は、多数の微粒子を複雑な前処理なしで1個ずつ直接分析できる装置です。全元素を測定対象とするプラズマ発光分析による固体分析装置としては、世界初の実用化です。微粒子を1個ずつプラズマに導入するサンプリング手法、4台の分光器の同時発光分析から粒子1個の組成を得る方法、等価粒径を用いた粒径表示方法などに、独自の技術を開発しました。
　これにより、粒子の粒径、個数、組成の情報が短時間に得られ、数万個レベルの自動粒子計測が可能になりました。この装置の核となった発明は、平成10年度全国発明表彰において「日本商工会議所会頭賞」も受賞しています。

パーティクルアナライザ「ＰＴシリーズ」

　この装置は、パーティクルアナライザ「PTシリーズ」として発売されています。 半導体・液晶工場などのクリーンルームの環境測定や装置内の発塵源を特定する装置、トナー・二次電池などの機能性材料の性状評価装置などとして応用できます。今後、自動車排ガス測定装置や大気分析装置にも大きな市場が見込まれています。

以　上

パーティクルアナライザ「PTシリーズ」の詳細は、こちら