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省エネルギー対策ソリューションの適用例

クリーンルームにおけるエネルギー最小化

屋内施設の中でも、クリーンルームは最もエネルギーを消費するところの一つです。生産制御での高い省エネルギー実績と、自社でもクリーンルームを持って最先端半導体を生産するYOKOGAWAが、エネルギー最小化をお手伝いします。

クリーンルームにおけるエネルギー最小化 プロセス図

YOKOGAWAのEnergy on Demandを導入したクリーンルームでは、設備の消費エネルギーの10%~20%を削減しています。

Japan  
YOKOGAWA


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