検査装置の構成

PowerEyeシステム構成

　PowerEyeの基本システムは検査対象の表示を取り込むCCDカメラと画像入力ボード、画像処理を行うPCで構成されます。
　基本システム構成には、中小型パネル検査用のシングルカメラシステムと大型パネル検査用のマルチカメラシステムがあり、検査対象のパネルの画素数と検出したい欠陥のサイズによってカメラ台数を変更します。

シングルカメラシステム

マルチカメラシステム

　PowerEyeシステムは生産ラインの一部に組み込まれ、外部からのトリガによって検査を実行し、検査結果はEthernetなどを経由して生産管理サーバなどの上位コンピュータに転送されるのが一般的です。

システム構成例

• カラー処理が必要な場合にはCCDカメラの前にカラーフィルタのターレットを設置する場合もあります。
• 検査する表示の切り替えには信号発生器を用意し、検査対象に表示されるパターンをPIOやRS-232Cなどを介して検査プログラムから切り替えます。